正负压系统对某模腔设备进行抽真空（抽蒸汽）和注入压缩空气，正负压系统分别由独立12根气管道从设备端引出，求对管道进行压力、温度、流量的检测通过数据线传输到PLC总控柜上，通过PLC总控柜上设定正负管道压力值进行开关动作，实现真空泵及空压机的开机与关机。要求正压流量为无油，压力不低于7bar ,流量不低于250L/min,-40℃压力露点。负压系统抽速为不低于10m³/h ,使用真空度为-100Kpa，设备总噪声低于60分贝，实现真空泵及空压机的开机与关机，及远程监控功能。
无油静音空压机：（带自动启停）压力0.8Mpa，空气量≥250L/min。
储气罐：容积0.1m³，压力8bar，材质304不锈钢。
加热器：（变频加热）(满足最大进气量下，加热器出口温度最高可至150℃)
加热温度至室温~150℃ 。
温度传感器：（3pcs）耐温≥150℃，带数据传输功能。
气体流量计：（2pcs）耐温≥150℃，带数据传输功能。
压力传感器：（2pcs）耐温≥150℃，带数据传输功能，正负压通用（压力范围-100kpa~0.8Mpa）。
真空冷凝机：处理量80m³/h。
真空气罐：容积0.3m³，压力8bar，材质304不锈钢。
无油静音真空泵：（带自动启停）真空度-100kpa，抽速≥300L/min。
PLC控制柜：西门子PLC（或同级），昆仑通态触摸屏（10寸）。
电器元件：施耐德等。
外壳要求：不锈钢成套可移动，良好的隔音效果（设备外部500mm处噪音低于60db）。
模腔控制系统逻辑示意图
设备运行成果
