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女王深扒了高纯气体的杂质,值得一看!

女王深扒了高纯气体的杂质,值得一看! 纽瑞德气体
2016-03-07
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导读:气体纯度的含义是指除基本气体外,剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种,如普通纯、高纯和特纯(超纯)。至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”,则与具体杂质含量多少有关。

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纽瑞德气体

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电子工业气体所用气体分为单质气体(如氢、氧、氮„„),多元气体(硅烷,氨、氯化氢)和混合气体(硅烷和氢、磷烷和氮„„)。

 

气体纯度的含义是指除基本气体外,剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种,如普通纯、高纯和特纯(超纯)。

 

所谓电子纯是指具体的半导体器件应用而言的。

 

至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”,则与具体杂质含量多少有关。

 

气体纯度表示通常有两类。 

 

对化学家来说,一般用99%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%,99.999999%等纯度表示。

 

那么其余1%,0.1%,0.01%,0.001%,0.0001%,0.00001%,0.000001%为杂质。

 

那么气体本身的杂质有哪些?来源又是什么呢?

 

常规杂质

 

  • H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O

  • 原材料中的较难分离物质

 

 

特殊杂质

 

  • 颗粒物

  • 油份

  • 金属离子

  • 同位素物质污染

  • 亚稳态物质污染

 

 

杂质来源

 

  • 原料污染

  • 原材料的杂质组分

  • 生产工艺副产物

  • 工艺失效污染

  • 过程污染

    • 环境带入:空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分

    • 生产装置,管路,充装装置带入:水分,金属元素,颗粒物,油份

    • 生产工艺富集

  • 包装污染

    • 残气污染

    • 包装本身带入污染:水分,金属元素,颗粒物

    • 包装内壁处理不过关

  • 分解聚合污染

  • 充装过程污染

    • 置换效率低

    • 置换气体污染

    • 真空度不够


     


 

上述表述中重点介绍了气体本身杂质的基本构成。杂质无法避免,任何物体都不能100%的纯净。在可控的范围内,纽瑞德在特种气体、高纯气体的纯度方面,永远是我们最大的追求......

 

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