双束聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）是利用聚焦电子/离子束扫描样品表面，捕获激发出来的各种信号。电子束逐点成像，可以表征微观组织形貌。离子束质量较大，可以对材料进行定点轰击，刻蚀加工。电子束和离子束相互结合使用，是揭示材料性能，助力材料研发的先进方法。
想要获得清晰、无伪影的高质量SEM图像？想要准确可靠的加工精度和分析结果？
制备出满足关键要求的原始样品是第一步~
样品制备得不好是导致电镜测试失败、返工重做的最常见原因！
以下总结了一些关键要求
帮助大家安全避雷~
FIB-SEM加工区域是微米乃至纳米级别。肉眼看不见的样品表面划痕在微观世界中都是巨物般的存在，非常影响图像美观性和加工精度。
因此，样品需要经过仔细打磨抛光，乃至离子抛光，才能得到好的拍摄/加工效果。
金属、半导体等导电材料通常可以直接上机测试。陶瓷、玻璃或氧化物等不导电的材料在电子束轰击下会积聚电荷，导致图像扭曲、漂移、异常亮或暗区域等，影响离子束的加工准确度，通常称为荷电效应（charging）。
在样品表面喷镀一层非常薄（几纳米到几十纳米）的导电材料（金、铂、碳等），配合导电胶与丁字台连接，能有效解决荷电效应，也不会覆盖样品本身的形貌。缩小样品尺寸也可以降低荷电效应的影响。
双束电镜样品仓内的真空度需要非常高，这样才可以使电子束的路径不被空气中的微小杂质影响，避免散射，保证聚焦和分辨率。
所以，上机的样品必须完全干燥，不能含有一丁点水分、溶剂，否则会在真空环境中剧烈挥发，污染真空系统和各种探头，导致成像模糊。
双束电镜样品仓内各个角度都装备有不同的探测器，而且样品台大小有限制，需要确保样品能放入样品室被电子束扫描到，且不碰撞镜筒或探测器。
样品的大小通常需要保持在高度≤2厘米，长度/直径≤5厘米的范围内，样品底部尽量平整以便固定在样品丁字台上。如果样品含有磁性，则尺寸越小越好。
FIB-SEM样品必须非常干净，避免油脂、粉尘、抛光剂残留等表面污染物掩盖样品微观形貌细节，缩短寻找拍摄加工区域的时间，脏污产生的干扰信号也会影响结果分析。
在上机测试前使用超声清洗、压缩气体吹气等方式清洁样品，并且在接触样品的过程中使用手套，可以保持样品干净，节省测试时间，不受脏污干扰误导。
如果样品要在特定的感兴趣特征区域进行拍摄/加工，如晶界、第二相等，需要确认这些特征能在二次电子或背散射信号下清晰分辨出来。
根据不同表征目的，可以采取光学显微镜宏观标记定位、腐蚀、EBSD等方法进行预处理。
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