Hi，欢迎来到诺法材料~
我们自营实验室平台，拥有双束聚焦离子束-扫描电镜（FIB），专注于利用高分辨率电子显微技术，为新材料研发、微纳结构分析等需求提供服务。
和汽车一样，相同型号的机台，会有不同的配置。如果你对我们的设备感兴趣，请让我带领各位，来一次FIB Room Tour吧！
设备型号：赛默飞 Helios 5 CX（配有EDS及SEM-STEM等探头）
设备用途：用于微纳加工、微纳结构观察及分析、高质量定点透射电镜（TEM）和三维原子探针（APT）样品制备、三维重构分析等用途。
设备基本数据：
拉开样品仓门，它的内部是这样子的，精密地分布着各种机械装置、探头等等。
我们先来到第一站：样品台。
这个样品台可以放置多个小尺寸的样品，并且在5个方向上移动 - 水平：X方向+Y方向+水平旋转 / 垂直：Z方向（上下）+倾斜。由于样品台和极靴以及旁边探头之间的距离有限，所以进行电镜测试的样品直径需要控制在8厘米以内，高度不超过2厘米。
在样品台的上方，是电子束和离子束系统。通过施加电压和磁场透镜组合系统，使电子和镓离子（Ga+）汇聚成束，分别从两个镜筒射出。电子束用于成像，离子束则是负责加工，两者相辅相成，因此以这台机器称为“双束”电镜。
紧紧挨在旁边的是沉积气体注入系统（GIS）和机械臂。
▶ 气化物质从GIS出口喷出，与注入的离子或者电子束相互作用，激发出混合物，沉积在样品表面作为保护层，或者作为焊接样品的“胶水”。
△ 气体注入的原理
▶ 而机械臂的作用是转移。制备TEM或APT样品时，从材料上提起样品和转移到载网/底座上，便于进行下一步减薄或削尖。
△ 使用机械臂提取TEM截面样品
镜头一转，我们来到后面看看吧！
诺法材料的FIB配备了CBS / ABS背散射探头、牛津Ultim Max 65 EDS能谱、以及STEM 扫描透射探头，功能齐全，多面开花。
▶ CBS / ABS背散射探头能够拍摄出高分辨率、高对比度的背散射电子成像图片，清晰区分样品中不同的相。
▶ SEM-EDS能谱可以收集分析样品的X特征射线，从而得出样品的元素成分信息。
▶ STEM 扫描透射探头的原理与TEM透射电镜类似，是接收穿透过TEM样品的电子信号，具有明场、暗场和HAADF三种模式。它内置在FIB中，当TEM样品制备完毕后，可以方便地即时通过STEM探头观测样品的简单形貌，也可以和SEM-EDS能谱联用，满足一定程度的材料表征需求。
△ STEM 探头原理
△ (左图) TEM样品整体形貌STEM成像；(右图) 局部放大STEM图像
👌 希望本文可以让各位对我们的设备有个直观的印象 👌
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林工
13250344454
广东省诺法材料科技有限公司专业从事分析电镜和材料测试工作，专注于高分辨率表征技术（SEM、FIB、TEM、EBSD、APT...）。我们的国际化专家团队熟练运用现今顶尖科技的仪器设备和科学方法来进行高水平研究和数据处理。
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