大数跨境

北大&清华《Nature Communications》:730 nm/min!脉冲焦耳热“泵”出微米厚石墨膜,热导率1314 W/m·K媲美HOPG

北大&清华《Nature Communications》:730 nm/min!脉冲焦耳热“泵”出微米厚石墨膜,热导率1314 W/m·K媲美HOPG 中科精研材料制备技术研究院
2026-03-02
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石墨这东西,导热>1500 W/m·K,热稳定性极高,工业上和物理领域都用了几十年。但把它做成微米厚、还能弯折的高品质膜,事情就难了。

传统路线两条:一是HOPG(高定向热解石墨),慢速热解,生长速率0.1 μm/h级别,烧几天才能出一片;二是Kish石墨,从熔体里凝固出来,质量是高,但产量感人。结晶质量和生产效率之间,长期是零和博弈——要么慢工出细活,要么快但品质掉下来。

北大刘忠范院士、孙禄钊特聘研究员和清华孙波副教授最近在《Nature Communications》上发了一篇,用脉冲焦耳热诱导渗碳(PJHIC),把这事给解了。核心数据摆出来:垂直生长速率730 nm/min,比传统方法快一个数量级;循环脉冲能做1–5微米厚、毫米级晶粒的ABA堆垛石墨膜;热导率1314 W m⁻¹ K⁻¹,和HOPG、Kish石墨一个级别。

这不是渐进式改进,是把生长速率从“小时/微米”拉到“分钟/微米”的跃迁。



01 非平衡碳通量:用热冲击“泵”碳进去

先看图1a-c。流程不复杂:金属箔(Ni或Co)表面涂一层PMMA作为固态碳源,然后通电。关键在脉冲参数:升温>1300°C,速率>300°C/s,脉冲持续几十秒,然后快速冷却。

这套操作的核心逻辑是:高温下碳在金属里的溶解度急剧上升,热冲击把碳“泵”进金属体相,扩散均匀;快速冷却时溶解度骤降,碳被“挤”出来,在表面偏析成石墨。

图1f-g是厚度随生长时间的变化:10秒、12秒、72秒,厚度往上走,72秒时达到~800 nm饱和。算下来垂直生长速率730 nm/min(图1h),和文献里传统方法(CVD、热解)一比,高出一个数量级。

图1i-k的拉曼光谱是关键的质量验证:D峰几乎看不见(I_D/I_G~0.03),G峰半高宽~13 cm⁻¹,2D峰分裂成2D₁和2D₂——这是ABA堆垛石墨的特征指纹,不是乱层的 turbostratic 石墨,也不是单层石墨烯。


02 碳原子怎么跑、怎么析出,ToF-SIMS把时间线拆清楚了

图2的飞行时间二次离子质谱(ToF-SIMS)是这篇的“慢镜头回放”。

图2a-b,原始镍箔,碳信号几乎没有。
图2c-d,10秒后,碳信号均匀贯穿整个镍箔体相——说明碳已经充分溶解、扩散均匀。
图2e-f,12秒时,表面开始出现富集碳的信号层——这是石墨层首次成核析出的时刻。偏析过程发生在10–12秒这个极短窗口
图2g-h,72秒后,形成~800 nm的连续石墨膜,而且在镍的晶界沟槽处能看到局部增厚(图里箭头标出)。说明晶界这类缺陷位点,是碳的快速扩散通道,会优先析出。

这套数据把“溶解-扩散-偏析”的时间线完整还原了:溶解和均匀化在10秒内完成,偏析成核在12秒时启动,之后是持续生长


03 循环脉冲,厚度精准可控

单次生长饱和厚度~800 nm,再延长脉冲时间厚度也不再涨。想往厚了做,怎么办?


图3的方案是循环饱和工程——加热溶解→冷却偏析,再来一次,再来一次。

图3a-b示意了循环过程:第一次加热溶解碳,冷却析出一层石墨;第二次加热时,部分低结晶度的碳会重新溶解,但整体上厚度还是往上累积。

图3c-d的白光干涉仪(WLI)图像,清楚显示了不同循环次数下的台阶高度。图3e-f的拟合曲线显示,厚度和循环次数呈线性关系(~0.1 μm/循环),1–5微米厚度可以程序化精准调控。

做5微米厚膜,大概需要2小时。和CVD动辄十几小时甚至几天比,这效率确实是另一个维度。


04 毫米级单畴、ABA堆垛、1314 W/m·K,品质和HOPG掰手腕

图4把结构质量和性能数据摊开来看。


图4a-b是电子背散射衍射(EBSD)。有意思的是,石墨膜的(0001)面外取向一致,而且面内晶粒尺寸达到毫米级——下方的Ni基底是多晶,晶粒尺寸微米级,石墨却能跨过基底晶界快速外延生长。说明偏析过程中的横向生长不受基底晶粒限制,这是PJHIC的独特之处。

图4c的高分辨XRD,(0002)峰位置26.543°,半高宽0.169°,算出的层间距3.355 Å——和HOPG、天然石墨、Kish石墨完全一致。

图4d-f是原子尺度实锤:STM看到六方晶格,SAED是单晶衍射斑点,ADF-STEM直接数出层数、看清ABA堆垛。

图4g-h的横截面HRTEM,面内C-C键长0.246 nm,层间周期0.68 nm,和理论值对得上。

图4i-k是热导率数据,用时间域热反射(TDTR)测的:面内1314 W m⁻¹ K⁻¹,跨面7.51 W m⁻¹ K⁻¹。和HOPG、Kish石墨放在一起比,性能在同一梯队,远超普通天然石墨。


05 这事的看点:非平衡态如何改写“效率-质量”曲线

把这篇的逻辑抽出来,有几个层面值得单独拎出来说:

工艺层面:PJHIC用的是固态碳源+焦耳热脉冲,不是CVD那种气态源+长时间沉积。固态碳源的好处是碳通量可以瞬间拉满,不受气体扩散限制;焦耳热脉冲的好处是加热冷却快,能把非平衡态“冻”下来。两者结合,碳在金属里的扩散通量算出来~4.5 μm/s,比稳态扩散高几个量级。

结构层面:毫米级单畴、ABA堆垛、层间距3.355 Å——这三个指标同时达标,说明晶体完美度确实到了HOPG级别。而且是在多晶基底上长出来的,不是单晶衬底外延,这给工业化留了空间。

性能层面:1314 W/m·K的热导率,和HOPG一个级别,比普通石墨膜高出一截。柔性热管理、极紫外光刻防护罩、可穿戴电子散热,这些场景对导热和各向异性的要求都能满足。

机制层面:图2的ToF-SIMS和图3的循环饱和,合起来回答了一个基础问题——非平衡偏析动力学怎么走、怎么控。这对理解碳在金属里的行为,甚至推广到其他层状材料,都有价值。


06 还差一口气?和单晶石墨比,还有距离

当然,实事求是地说,这工作离“单晶石墨”还有距离。

图里能看到,膜里有晶界、有褶皱、局部厚度不均。这些都是快速非平衡过程的代价——碳通量太大,偏析太快,缺陷来不及完全愈合。和那种慢速外延出来的单晶石墨(比如之前张哲野那篇Nature Nanotech的单晶石墨膜)比,结晶完美度还差一点。

但问题在于:单晶石墨的生长速率是多少?~1 μm/天级别。PJHIC是~1 μm/2小时,差了12倍。工业上选哪个,取决于场景——要极致性能还是均衡产出。

至少PJHIC把这条“效率-质量”曲线往前推了一大截。


07 下一步往哪走

文章最后提了几句展望,我们顺着往下想几个方向:

  • 厚度继续往上走:循环饱和做了1–5微米,能不能做10微米、20微米?循环次数增加,界面累积缺陷会不会影响品质?

  • 基底拓展:Ni和Co能行,其他金属(Pt、Pd)或者合金呢?不同金属对碳的溶解度和偏析行为不同,可能调出不同生长窗口。

  • 层状材料家族复制:这个“非平衡碳通量工程”的思路,能不能用来做hBN、过渡金属硫化物?如果固态前驱体+脉冲加热能让硼、氮、硫也快速扩散偏析,那这套方法论的价值就大了。

  • 应用验证:1314 W/m·K的热导率是实验室数据,做成实际热管理器件、散热膜、防护罩之后,性能能保留多少?

至少,这篇把石墨膜的合成从“慢工细活”拉到了“快工也能出细活”的区间。下一步看怎么推。


文献信息
Rapid synthesis of micron-thick flexible graphite films via non-equilibrium carbon flux engineering
Nature Communications, 2026, 17, 1234
DOI: 10.1038/s41467-026-70028-8


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