微导纳米与尚德电力签约2GW TOPCon电池整线设备，PEALD助力高效太阳能电池技术升级

4月21日，光伏行业首届TOPCon电池技术发展与设备创新国际论坛在无锡举办，会议期间微导纳米与尚德电力签约2GW TOPCon电池整线设备合作协议。

PEALD      AEP™ TOPCon

尚德电力全新TOPCon产线将以微导AEP­­™(ALD Enabled Photovoltaics)技术为核心，打造行业最先进的TOPCon高效电池生产线。此次合作是微导AEP­­™高效电池技术整体解决方案的重要实践，也是尚德电力在本年度重点规划项目。双方一致认为，新一代TOPCon技术将成为突破当前效率和成本瓶颈主流技术。

微导AEP™装备技术的核心竞争力在于采用微导首创的PEALD技术，针对超薄氧化硅和氧化铝薄膜的先进ALD工艺方法，可确保在材料厚度的均匀性，工艺效果的重复性，在电池绒面上的保形性等方面，均显著优于其他技术方案。

同时，通过微导新型PECVD技术沉积多晶硅，在原位参杂、减少绕镀、定制掩膜及单面刻蚀等方面的独特技术积累，为产业客户提供自主创新开发的包括PEALD、PECVD、扩散、退火等一整套高效电池核心装备，以及全新的TOPCon整线解决方案。产线平均转换效率可达到24%以上。

江苏微导纳米科技股份有限公司是新投集团于2019年底投资的一家高新技术企业。公司成立5年以来，始终秉持“通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机”的使命，以原子层沉积技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。2020年，微导纳米全年营收达3亿元，目前正在省证监局IPO辅导中。