新投集团在投企业微导纳米再获头部太阳能制造商近3亿元设备订单

在PERC电池背面及 TOPCon电池正面的氧化铝和氮化硅叠层的制备中，公司全球首创高产能批量型ALD设备，搭载行业创新的PEALD二合一专利技术，能够在同一台设备中完成两种薄膜的制备，除了能提高薄膜质量以提供更好的钝化效果之外，还有效降低设备投资与生产成本，是PERC产线升级TOPCon技术的首选方案。

微导纳米成立于2015年底，公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用，业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域。目前，微导纳米正在科创板IPO注册阶段。