近日，新投集团在投企业江苏微纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”) 在获得国家级专精特“小巨人”企业不久，再传喜讯：微导纳米首次入选苏南国家自主创新示范区独角兽企业。
“独角兽”企业，是指在中国境内注册成立时间十年以内，获得过私募投资但尚未公开上市，企业估值达到10亿美元以上的企业。作为中国专门从事ALD工艺，材料和设备研发制造龙头企业，微导纳米在研发和产业化方面取得了喜人的进展。公司成功研制出国内首台用于先进制程技术节点的集成电路制造前道High-k原子层沉积设备和全套工艺解决方案，并已通过了先进制程生产线上的验证，设备工艺关键性能参数已达到国际先进水平。与此同时微导纳米还领衔TOPCon高效电池光伏产业升级，在多个著名光伏电池客户生产线上成功的验证了微导的光伏设备，有效助力电池转换率取得长足的提升，微导纳米再次成为TOPCon专用设备的领军企业。
微导纳米全面布局原子层沉积技术的产业化应用，建有原子层沉积技术产业化应用中心，面向集成电路、光伏、新能源、新材料等多个领域关键卡脖子问题攻坚克难，为行业提供前瞻性工艺解决方案，驱动行业技术进步和设备的产业化。
