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哪些MEMS市场最有前景?
Yole高级技术与市场分析师Dimitrios Damianos说:“疫情流行,全球封锁和美中贸易战对半导体产业造成了严重的影响。因此,适当的开放战略将是成功的关键。”
据Yole的预计,2020-2026年MEMS终端市场将以7.2%的年复合增长率增长。其中,消费领域是最大的MEMS应用市场,约占全球 MEMS 收入的 60%,到2026年约有112.7亿美元的市场。其次是汽车,汽车对MEMS的需求将从2020年的20.3亿美元上升到28.6亿美元。剩下的应用市场还有工业领域、医疗、电信、国防与航空航天等。
在经历了疲软的2019和2020年后,Yole的分析师预测,该市场将在2021年增长11%,达到134亿美元。之后以高个位数增长,2026年将增加到开头说的市值。
对于制造汽车压力传感器的MEMS厂商来说,需要警惕的一点是ICE(内燃机)车辆的减少。
MEMS玩家中谁的增长率最大?
新冠疫情、全球封锁和美国对华贸易战严重影响了半导体行业的供应链。因此,适当的发展战略已成为成功的关键。一些参与者从危机中获利,而另一些则没有,这导致了全球MEMS排名的重大变化。
现在的顶级 MEMS 厂商是 Bosch、Broadcom、Qorvo、STMicroelectronics、德州仪器、Goermicro (Goertek)、HP、Knowles、TDK 和 Infineon等等。值得一提的是,英飞凌以收购恩智浦而跻身前十行列,国内的歌尔继2019年首次跻身前十后,在2020年MEMS厂商营收排名中升至第六位。
●去年,相关公司预防冠状病毒疫情的技术有了大幅度成长,如热成像和传感或压力传感器。例如销售微辐射热测定仪的Guide IR(高德红外)、FLIR Systems和Lynrde,卖热电堆的Melexis也从中获益。与此同时,因对体温升高相关量测应用需求增加,Amphenol的压力MEMS因呼吸机和持续正压(CPAP)机器等呼吸系统需求而增长。
●Broadcom和Qorvo去年业务猛增,为5G的部署提供了非常稳定的RF MEMS滤波器,比预想的情况还要好。SiTime在继续大力推动基于MEMS的计时产品取代传统的石英计时解决方案。
●AAC和歌尔微电子从富有成效的MEMS麦克风需求环境中获利。这是15年来首次MEMS麦克风的领导者由Knowles转变为歌尔微电子。
●博世、ST、TDK在消费和汽车领域都有业务的企业由于消费MEMS业务2020年下半期的需求恢复,抵消了汽车潜在的负面影响。
目前,RF MEMS公司的MEMS业务增长最多,其次是MEMS热传感器和麦克风。
MEMS应用无处不在
MEMS(微电子机械系统)是一种半导体器件,包括微米/毫米范围内的运动部件,使用光刻工艺进行制造。MEMS传感器将物理值(如速度、温度等)转换为电信号。
MEMS有着悠久的历史,并在不断发展。随着MEMS传感器变得更加智能化,发展的加速将迎来激动人心的时刻。
MEMS传感器的供应链定位包括前端制造、后端制造、二级封装和系统。MEMS传感器芯片由硅制成(前端制造),通常与ASIC芯片组装,并封装在一级封装中(后端制造)。二级封装增加了更多的电子元件、坚固的外壳和连接器。通常市场统计只考虑一级封装的价值。
MEMS定义
技术趋势日渐清晰
MEMS传感器和驱动器一直在努力缩小尺寸,降低成本和提高性能。目前的趋势是采用更加系统化的方法,其中异构集成是关键,旨在提升系统性能的同时提高精准度,降低成本。在一些主要应用的推动下,先前存在的正在趋势加速。

已有应用趋势不断加速
光学MEMS独立反射镜是用于激光雷达和AR/VR应用的Bubble MEMS,可能是下一代用于独立反射镜的封装。2021年3月,ST和OQmented联合研制出先进的MEMS微镜激光束,在此基础上OQmented将开始进一步转化和量产其Bubble MEMS 3D玻璃MEMS微镜真空密封专利技术。使用这些独特的气泡状玻璃密封反射镜的方法可以消除环境中的致污物,实现更清晰的成像。

光学MEMS独立反射镜
用于OIS(光学稳像)的MEMS技术比VCM(音圈马达)OIS技术耗电更少,成像更精确。MEMS技术已成为光学图像稳定的新选择,一个主要玩家是美国的MEMS Drive,它是一家创新型无晶圆厂半导体公司,主要致力于研发,制造和营销以微机电技术为基础的驱动马达,目前产品主要应用在便携式电子移动设备摄像头。2018年,全球唯一芯片级光学防抖技术MEMS OIS首次在媲美专业单反的手机上实现五轴光学防抖技术,移动拍照媲美专业级单反相机的时代真正来临。
另一家个加拿大公司Sheba Microsystems,2019年作为世界第一款使用图像传感器运动的AFMEMS相机,将微型相机在超薄、高速、高精度和低能耗等性能方面提升到了一个新高度。

光学温像MEMS
制造工艺方面,压电MEMS沉积技术正迎来“黄金时代”,压电MEMS系列产品包括传感器和执行器,如喷墨打印头、BAW、麦克风、微型扬声器、光学MEMS、MEMS自动对焦等。行业压电MEMS制造的经验正在增加,在PVD(物理气相沉积)行业的一些变化中,溅射技术已成为首选的沉积技术。不少厂商都有自主研发的溶胶-凝胶法和溅射技术。

MEMS沉积技术趋势
MEMS的想象空间
从几十年前的第一个图像传感器到现在的气体传感器,传感器的能力不断发展。情绪感知已经出现了,我们还没有看到味觉传感器。

MEMS将无所不能
MEMS有着悠久的历史,并不断发展。随着传感器变得更加智能化,未来将是一个令人兴奋的发展加速时期。从几十年前的第一个图像传感器到现在的气体传感器,传感器的能力一直在不断发展。消费者/移动/物联网设备的下一个维度将是增加更多的感官。我们还没有看到味觉传感器,但情感感应已经出现了。让我们静待MEMS的下一步发展。
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