迈塔光电Metatest低维材料领域系列解决方案:
1. 迈塔光电Metatest E1-T多功能二维材料转移系统
在二维材料器件制备中,经常需要将二维材料在不同衬底之间进行转移,但是外延生长或是机械剥离得到的二维材料尺寸较小,高效、快速、准确的转移工艺仍然是二维器件制备中的一个难题。
迈塔光电科技公司设计开发的Metatest E1系列多功能二维材料转移系统由显微系统,观察用样品台和转移用样品台组成,适用湿法和干法、多种二维材料转移工艺探索。

Metatest E1-T多功能二维材料转移系统
迈塔光电开发的专利产品E1 多功能高精度二维材料转移系统,适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等二维材料,以及多层范德华异质结的制备。我司提供具体的干法、湿法操作流程,并协助进行相关工艺开发。

a、单层二维材料转移 b、范德华异质结

C、狄拉克能隙
转移台系统参数:
转移台由显微系统,五轴转移台、真空吸附100度加热集成样品台等部分组成。样品台可面内XY平移,360度旋转样品,适用于范德华异质结对二维材料进行改性研究。目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究空间反演对称性破缺对狄拉克锥能隙,以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。

MoS2样品转移效果图(MoS2单层样品定点转移至目标mark)
通用转移过程:

Metatest E1-T转移过程示意图
2. 迈塔光电Metatest FRP100激光共聚焦荧光-拉曼-光电流综合测试系统


