深视智能激光位移传感器拥有极高的测量精度,轻松实现无接触、远距离的精准测量,并具备了速度快、量程大、抗干扰等特点,被广泛应用于测量、定位等领域。
1. 点激光的原理
Principle
三角测量原理:如下图所示,被测物体距离相机的高度不同,会在sensor的不同位置成像,并通过像素坐标到物理坐标的标定,输出物理高度信息。
真实成像图以及测量高度值如下图所示
2. 安装方式
Method
相机的安装方式包括漫反射方式和镜面反射方式,用户可根据被测物体选择安装方式。
漫反射方式:发光单元垂直射向被测物体,感光单元接收到漫反射光中部分反射光。该测量方式的应用范围广泛,但不适用于透明物体和镜面物体。
镜面反射方式:以被测物体的平面法向量为中线,发光单元的发射角和入射角相等。该测量方式主要用于透明物体和镜面物体。
镜面倾斜安装后将带来测量的高度范围变小、实际的测量数值变大等影响。如下图所示,在倾斜固定角度后测量的值Y实际上和未倾斜时的测量值X就是一个固定三角函数比例关系。
因此在镜面倾斜测量时,应在扫描固定高度差的标准件后,用已知的高度差和实测的高度差做比例系数,以完成高度值的修正。
3. 光学系统
Measuring
相机有宽光斑和小光斑两种直径的光斑可供选择,不同的光点适合不同的测量场景。
宽光斑对因物体表面不规则的粗糙度而引起的数据波动有物理平滑作用,能够使测试数据更加稳定。适用于表面比较平整的高度位置测量、厚度测量等。
小光斑可以准确地检测小物体,以及精确地测量细微的高度变化,是轮廓测量的最佳选择。适应于弯曲表面轮廓度检测、缝隙间距检测、热变形检测、细小物件检测等。
4. 点激光主要参数
Parameter
参考距离
根据现场要求的安装高度调整
测量范围(量程)
根据物件的检测高度范围调整
光点直径(光斑尺寸)
根据测量场景选择宽光点或小光点
线性度(直线性)
影响真值数据和动态重复性
再现性(静态重复精度)
影响数据的静态稳定度
采样频率
机台运行速度要与相机采样频率相匹配
5. 深视智能点激光系列对比
Comparison
6. 点激光的应用
Scenarios
半导体
硅片厚度的不规则性
晶圆片平整度测量
化合物半导体的高度测量
晶圆片厚度测量
LCD/PDP
测量玻璃凹凸
检查玻璃高度(自动聚焦)
金属
测量金属件的厚度
测量金属板的高度
测量O型圈插入深度
测量钢板的厚度
电子元件
电路板高度及变形
测量PCB板的厚度
焊锡检查
测量连接器高度
薄膜/树脂/胶片/塑料/橡胶
测量电介质上的电极厚度
催化剂圆度检测
测量薄膜的厚度
密封条位置检测
汽车/运输
测量转动盘片的偏转
车体轮廓检测
压铸件一维码识别
测量消声器的振动
锂电
电芯的厚度测量
盖板的翘曲测量
电池的全长检测
安全阀的厚度测量
其他
测量电压元件的振动
测量音响的振动
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