应用案例 | 深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器以亚微米精度测量晶圆平整度

深视智能SCI系列点光谱共焦位移传感器通过亚微米级精度、强材质适应性、超高速采样频率及非接触式测量技术，解决晶圆表面平整度检测的行业痛点，为半导体制造企业提供高效、精准的检测手段。

深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器凭借亚微米级分辨率、非接触式、高兼容测量及超高速动态响应，为晶圆平整度检测提供了高可靠、高效率的测量工具。其技术指标与国外高端设备相当，不仅降低了半导体制造中的风险与成本，更推动了国产传感器在精密检测领域的突破。