迈塔光电即将参展中国物理学会CPS2024秋季学术会议

展位：5号馆B209

迈塔光电售前及测试专员：

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中国物理学会2024秋季学术会议（以下简称秋季会议，英文名称为CPS Fall Meeting）由中国物理学会主办，自1999年起举办至今。秋季会议旨在加强国内外物理学界的学术交流，提高学术水平，推动物理学科的全面发展和提升人才培养质量。经过20多年的发展，秋季会议已从最初的200人规模壮大至今的6000多人规模，成为中国物理学界规模最大、综合性最强的品牌学术盛会。

E2-Vac 真空环境显微光电测试系统

• 可兼容真空测试和非真空测试环境，真空腔极限真空度5*10^-5mbar，适配涡旋干泵极限真空度＜5Pa，可升级分子泵（极限真空度8e-8mbar）。
• 超短探针空间，可兼容物镜共聚焦光路，可同时观察器件微观结构及激光形貌。
• 多物镜连续切换，最高支持50倍物镜，实现μm级聚焦光斑，且光斑尺寸可调；扎针状态下，可以移动激光光斑选择测试区域。
• 可兼容多种测试光源，类型包含激光器、氙灯、LED、超连续激光等多种形式，波长兼容250-5500nm。
• 高屏蔽三同轴接线方式，三同轴漏电流小于100fA。

• 搭载的低噪声光电流测试模块，可以满足多种光电流测试需求。配套的Metatest Suite测试软件包突破性集成了所有光学以及电学测试设备的控制功能，并且可以任意组合进行自定义的参数扫描，极大程度简化测试过程。

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性能特点：

迈塔光电E1系列转移台，在保留优异的转移集成操作基础上，拓展激光切割以及探针划刻功能，可辅助制备出高质量、超洁净的图案化二维材料器件，转移材料后可原位操作，适合转角样品。

激光切割功能使用1064nm皮秒激光器，激光功率软件可调；采用稳固光路设计，可调节光斑聚焦；高精度电动控制XY方向切割路径，0.001度电动转角控制；探针转移可辅助实现二维材料电极转移以及柔性衬底上有机晶体半导体的干法转移。