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视频号 | 深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器精准把控石英坩埚内壁厚度

视频号 | 深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器精准把控石英坩埚内壁厚度 深视智能科技
2025-06-08
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导读:深视智能光谱共焦传感器:石英坩埚内壁厚度的精准 “把关者”

在单晶硅拉直过程中,石英坩埚需要在1400℃高温下承载熔融硅超50小时。然而,随着温度升高,硅液接触的坩埚内表面不断溶解,导致壁厚减薄,在较薄的地方,坩埚可能发生变形并影响硅液温度场均匀性,甚至引发漏硅现象。因此,石英坩埚内壁厚度对单晶硅生产效率至关重要。[1]

深视智能光谱共焦位移传感器无惧各种材质、形状测量,轴向分辨率达0.006μm,采样频率高达33kHz,通过激光对射测量方式,可精准测量磨砂透光材质的石英坩埚内壁厚度,及时筛除不符合生产标准的石英坩埚。

本期深Sir为大家展示深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器测量石英坩埚内壁厚度的案例视频,更多精彩案例,敬请关注深视智能视频号~

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参考文献:

[1]贾倩倩,张渤,赵谦,等.基于深度学习的石英坩埚厚度测量方法[J].激光杂志,2024,45(12):58-66.DOI:10.14016/j.cnki.jgzz.2024.12.058.


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