在晶圆的加工过程中，为避免形貌缺陷和关键尺寸影响器件的性能，需要借助光学检测设备对其进行切割等工序的引导以及表面等缺陷的识别，以提高晶圆加工的精度，保证产品良率。
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视频号 | 点激光晶圆检测引导
深视智能科技2023-02-05
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做世界一流的工业传感器
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