
文章来源:麓帮主 光电汇OESHOW
光束整形DOE如何赋能激光加工?

多种激光加工应用展示(图片来源于网络,侵权删)

太阳能电池减薄
部分太阳能电池基于选择性载流子原理,通过在N型硅衬底电池的背面制备一层超薄的氧化硅层,再在其上沉积一层掺杂硅薄层,形成钝化接触结构,有效降低表面复合和金属接触复合。减薄工艺通常用于减少硅片厚度或去除多余材料,降低成本的同时提升电气性能和光学性能。匀化光斑在激光减薄中具有以下三大优势:

电池刻槽
部分太阳能电池采用背接触结构,将所有电极和导电路径置于电池背面,以减少表面阴影遮挡,提高光电转换效率。激光划槽是这一工艺的关键步骤,但传统高斯光斑划槽易出现切边不齐、深度不均、边缘挂渣等问题,影响加工质量。匀化光斑在激光划槽中具显著优势。它能确保能量密度一致,减少划槽深度和宽度不均的问题;同时,通过均匀能量分布,减少边缘缺陷和微裂纹,降低机械应力,提升硅片的强度和可靠性。
PCB钻孔
PCB 激光钻孔是一种利用高能光束的热量,使电路板材料熔化蒸发,实现打孔效果的加工方法。激光钻孔技术主要应用在多层板中,通过层间导孔的电连接来控制层间的电传导。传统的高功率激光光源为高斯能量分布,能量自中心至边缘逐渐降低,容易使钻孔效果出现孔壁粗糙度差、边缘热损伤、锥形孔等缺陷。使用匀化光斑进行钻孔加工则能很好地解决前述加工难点。

聚合物VS石英DOE有什么不同?
匀化DOE因其独特性能及多样化的应用前景备受关注,当前,市面上常见的匀化DOE类型主要分为两种——聚合物匀化DOE和石英匀化DOE,这两种匀化DOE各自拥有不同的特点与优势,主要区别在于:
材质-顾名思义,前者的光束整形功能层由液晶聚合物(LCP)制成,LCP是一种有机高分子材料;后者的光束整形功能层由紫外熔融石英(UVFS)制成,UVFS是一种高透过率非晶态材料;
原理-前者通过元件平面内液晶分子的取向角变化实现特定相位结构,是一种几何相位光学元件;后者通过元件平面内石英材质的厚度变化影响光程差来实现特定相位结构,是一种动力学相位光学元件;
偏振特性-前者作为一种几何相位光学元件,光学效果具有偏振相关性,对入射光中不同圆偏振分量进行整形后的能量分布呈三维中心对称特征,因此要求入射光为任意均匀偏振态,但不能是任意位置偏振状态随机的位置相关随机偏振;后者作为一种动力学相位光学元件,光学效果偏振不敏感,对入射光偏振态无特殊要求;
适用波段-前者因LCP材料的紫外强吸收和绿光微弱吸收特性,不适用于紫外和绿光高功率应用;后者因UVFS的全波高透过率和高损伤阈值特性,可以稳定适用于紫外和绿光高功率应用;在红外和绿光中低功率应用场景下,因聚合物匀化DOE的加工更高效、工艺边界能力更优,是此类场景下的更优选择;
聚合物/石英匀化DOE制造工艺示意图
LBTEK 石英匀化DOE有何优势?

64款标品上新,现货直达
标品参数表(供参考,以最终实际上线规格为准)
支持定制,交付周期缩短约30%
LBTEK 石英匀化DOE保留了聚合物匀化DOE灵活定制的特性,以满足更多尺寸规格的特殊需求。同时可做到定制交付周期相比国外竞品缩短约30%(6-8周→4-5周)。
自主相位设计,多种方案可选
石英匀化DOE与场镜配合使用时,幅面边缘处畸变校正前后效果对比
测试表征标准及硬件资源完备
LBTEK 石英匀化DOE对质量进行全流程严格把控,从设计到过程控制再到出货检测,均依照严谨科学的质量标准进行。通过高还原度的公差仿真、高精度检测设备、高效完备的质检出货流程,实现仿真数据、实测数据一一对应。

石英匀化DOE匀化效果实测示例


