3月6日上午，光明区工业和信息化局、深圳市智能传感行业协会共同组织的MEMS中试线企业需求研讨会在光明公用服务平台举行。速腾聚创、汉威科技、美思先端、海谱纳米、南科大、格物感知、国微感知、戴维莱、比特原子、天陆海、智芯微纳、万感科技等十多家MEMS相关企业和机构负责人参会。
MEMS（微机电系统）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，通过半导体制造等微纳加工手段，形成特征尺度为微纳米量级的具有机械结构的系统装置。
MEMS工艺与传统的IC工艺有许多相似之处，MEMS借鉴了IC工艺，如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等，对于毫米甚至纳米级别的加工技术，传统的IC工艺是无法实现的，必须得依靠微加工，进行精细的加工，能达到想要的结构和功能。
相比一般的集成电路芯片（IC），MEMS制造工艺不追求先进制程，而更注重功能特色化，即利用微纳结构或/和敏感材料实现多种传感和执行功能，工艺节点通常从500nm到110nm，衬底材料也不局限硅，还包括玻璃、聚合物、金属等。
会上，与会代表听取了光明区智能传感器产业发展情况，并就如何通过MEMS产线建设推动智能传感器产业发展进行探讨。企业表示，因为MEMS传感器具有一种产品一种加工工艺的特点，因此对中试线也有着不同的需求，如运营团队专业性，设备工艺的兼容性，服务的时效性与配合度，如何满足更多种类的工艺特点，对知识产权的保护等等。
企业表示，部分工艺可通过6寸线或实验线来完成，然后再上8寸线，这样在良品率、开发进度等方面效率将更高，也能够节省部分成本。在模式方面也可以考虑让部分有能力的企业参与运营，或者适当开放部分空间给企业放置自己的设备来完成前道工艺。
目前MEMS传感器研发中试平台由于建设投入大、专业性高已成为共性需求，企业自身的技术储备、专业能力各不相同。与会企业表示希望能够做一些定期的培训，共同做标准如标准器件、标准工艺，并将自己的know-how放到PDK里，不断地充盈PDK，大家一起做开发时就会提高效率。
深圳市智能传感行业协会是贯彻落实深圳市培育发展“20+8”产业集群及《深圳市培育发展智能传感器产业集群行动计划（2022-2025年）》等相关文件精神，加快推进“一集群一协会”工作，由深圳市工业和信息化局指导，民政局批准成立的非盈利性行业组织。协会现有会员企业近300家，其中上市企业12家，拟上市企业7家，专精特新企业70家（含小巨人17家），单项冠军企业5家，科技独角兽企业（含潜在）5家，涵盖芯片、材料、研发、生产、应用等产业链上下游相关企业。协会顺应当前产业发展趋势和政策号召，定位于政府的抓手、企业的帮手、创新的推手，发挥纽带和桥梁作用，搭建多元高效科技创新服务体系和产业创新综合服务平台，加速科技创新、成果转化和行业应用；凝聚行业合力，培育产业生态，促进智能传感器产业聚集和高质量发展。
光明凤凰广场
光明凤凰广场位于深圳重点区域之一的凤凰城门户地段，距离轨道6号线观光站600m。项目定位为光明区科技创新平台、总部集聚平台和产业金融平台。集研发、办公孵化器、检测检验中心和轻型工业为一体的综合体。项目总建筑面积:17万平方，研发用房+轻型工业(1、4栋)2万平方，(2、3栋)8.8万平方，商业1万平方，地下停车位974个。智能传感企业入住可享受租金优惠。
大湾区智能传感新型产业社区工业上楼项目（轨道13号线车辆段片区）
大湾区智能传感新型产业社区工业上楼项目（轨道13号线车辆段片区）位于光明区凤凰街道，项目总投资536亿元，占地1.95平方公里，按照“工业上楼”大标准层、高载荷、宽柱网、多货梯建筑设计要求，贡献高品质产业类空间197.5万平方米，其中一期投资81.9亿元，一期产业空间32万方米。主要建设内容包括厂房、宿舍及其他公共配套设施等，预计2024年底竣工。
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