Rollon携手TECO Technology升级半导体湿法工作台
Rollon与总部位于加利福尼亚的高科技经销商TECO Technology长期合作，凭借其在工业自动化领域的深厚积累——涵盖气动、电气系统、运动控制、液压及机器人技术，共同为终端用户提供高效解决方案。TECO Technology拥有超过85年行业经验，具备先进的加工、装配、测试和无尘室生产能力。
近期，双方合作完成了一项针对半导体制造中湿法化学工艺的设备升级项目。TECO Technology在其为客户设计的新一代湿工作台中整合了多款Rollon核心产品，用于替代两台旧型号高架传送机，实现更高效、紧凑且可靠的自动化操作。
关键产品应用
- TH紧凑型滚珠丝杠驱动模组：用于驱动机器的垂直轴（Z轴），确保高精度定位。
- E-Smart同步带驱动模组：配合从动轮组件，承担水平轴（X轴）长行程运动任务。相较直线电机或大尺寸滚珠丝杠，该方案更具成本优势，满足终端用户对经济性与性能的双重需求。
应用场景与挑战
该湿法工作台应用于半导体及其他硅电子工件的清洗、蚀刻和冲洗工序，需在多个化学槽之间精准移送晶圆料篮（兼容440mm、300mm及更小尺寸）。更新后的设备长度增加数英尺，可承载50磅（约22公斤）负载，并集成夹具于Z轴与θ轴末端，实现垂直升降与旋转动作。
项目最大挑战在于极端紧凑的空间限制。由于半导体车间布局高度规整，设备必须在限定总长与高度内完成多槽位覆盖。此次设计可触及两排共八至十个槽体，同时保证重复定位精度控制在约400微米以内。
腐蚀环境下的防护设计
面对化学蒸汽和液体的腐蚀风险，系统采用多重防护措施：
- Rollon线性单元配备特殊表面处理轨道，适用于腐蚀性环境；
- 子部件选用不锈钢、工程塑料、镀铬材料并施加涂层；
- 可选迷宫式密封、远离烟雾源的结构布局，以及带密封驱动部件的模组（如Robot 100系列）。
此外，长Z轴机械臂采用悬臂结构，部分铝管外覆保护性塑料薄膜以增强耐腐蚀能力。
集成与布线优化
TECO Technology完成了电机集成及全系统布线管理，将行程末端传感器、编码器、电源与制动线缆分别从控制面板左、中、右三侧独立穿出，提升维护便利性与系统整洁度。排气扇设计有效引导气流与化学蒸汽远离关键模组区域。
高效交付与市场响应
Rollon工程师兼美国西区销售经理Felix Velasquez表示：“我们的产品助力TECO Technology为终端客户的晶圆传送应用提供了高性能且快速落地的解决方案。”
关于Rollon
Rollon成立于1975年，总部位于意大利米兰，专注于线性运动系统的研发与生产，其产品广泛应用于对性能、效率和可靠性要求严苛的工业领域。
通过Timken公司对Nadella、Chiavette Unificate、Durbal、Shuton-Ipiranga和Rosa Sistemi的收购，Rollon已形成完整的产品体系，涵盖线性导轨、伸缩导轨、模组、滚珠丝杠及轴承等全系列线性传动元件。
