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【工艺原理】
利用气相沉积法(CVD)制备稀土光导纤维材料，以稀土氯化物的形式作 为添加剂与其他光导纤维材料共沉积下来， 一般分为以下几个步骤：
①稀土氯化物脱水：稀土氯化物一般都含有6~7个结晶水，而水中的氢 氧键对于光的吸收很强，对于稀土氯化物的干燥脱水，采用直接加热脱水是不 行的，会反应生成稀土氯氧化物，而稀土氯氧化物杂质会引起光散射损失和降 低光导纤维的强度。为防止稀土氯氧化物和氧化物的形成， 一般采用在通入 氯气惰性气体情况下，加入氯化铵混合加热至400℃,这时氯化铵可以把生成 的少量稀土氧化物或氯氧化物还原成氯化物，使稀土氯化物在脱水后完全变 为无水稀土氯化物。
②装置的清洗：稀土氯化物除水之后，可以通过导入含氟的干燥气体如二 氟二氯乙烷和氧气来清洗整个气相沉积装置，这个过程也包括把脱水过程中 进入沉积底物的 NH₄CI除去。
③气相沉积材料的形成：装置清洗完后，低温缓慢加热，用氦气、氧气、四 氯化硅、稀土三氯化磷、二氟二氯乙烷喷镀在沉积底物的玻璃壁上。当电炉温 度升至600～1000℃时，气相沉积开始，这时气相组成为氧气、四氯化硅、四氯 化锗和氯化铒，这些组分与氦气混合，升温至1250℃,缓慢地形成多孔体光导 材料。
【生产工艺】
①氯化铒的脱水：通入干燥的氦气，使石英管在0.5h 内升温至400℃,并 且保温0.5h, 这时大部分水已经脱去，氯化铵已经升华，同时又冷凝在温度较 低的管上，始终阻止水与氯化铒反应，生成氯氧化物。然后，进一步加热，以还 原少量生成的铒的氯氧物，加热温度达700～800℃,不断通入氦气与氯气的混 合气体，此时氯化铒也已经熔化。
②装置的清洗：石英管停止加热，让氯化铒冷至室温，旋转另一石英管，通 入干燥的氧气和干燥的二氟二氯乙烷，同时用加热炉缓慢地沿着气流方向移 动加热数个来回，以赶去在脱水时冷凝在石英管上的氯化铵。
③气相沉积材料的形成：改由通入氯气与氦气的混合气体，加热炉低温加 热数个来回，以干燥多孔光导材料，便制得成品材料。
【特效与应用】
添加稀土的光导纤维主要用于制作光导纤维结型的激光源、光放大器和 探测器的材料。
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