深圳市重点产业研发项目在深圳创新总部基地正式启动！

3月17日，深圳市重点产业研发计划“IC制造中浅沟槽隔离及光刻掩膜版稀土抛光液关键技术研发”项目启动会在深圳创新总部基地成功举行。中国稀土集团创新科技有限公司领导詹伟、梁浩、贾江涛，深圳市科技创新局成果转化处副处长杨婉璐出席会议；此外，会议还邀请了高校、科研院所、产业界及财务领域多位专家，以及项目承担单位、参与单位骨干成员共三十余人参会，共同见证项目正式启动。

杨婉璐充分肯定中稀研究院作为深圳市重点支持的创新主体，指出该项目对电子信息、新能源等产业发展具有关键“底座支撑”作用。她强调，项目要严格按照深圳市科技研发资金管理办法执行，切实履行各阶段研发与考核责任，并介绍了深圳未来重点政策方向，包括龙头企业牵引的应用技术研究、概念验证中心及中小试基地建设、投贷联动、科技金融、研发投入补助等，建议项目平台建立开放共享机制，服务更多产业创新主体。

詹伟对各单位、专家出席项目启动会表示热烈欢迎与诚挚谢意。他表示该项目是面向集成电路关键材料自主可控这一国家战略需求的主动作为，旨在打通从基础研究到产业应用的完整链条，实现高端稀土抛光液的国产替代。他对下一步工作提出三点要求：一是要提高站位、强化过程管控，服务国家战略和产业发展；二是加强协同、促进资源共享，凝聚各方合力；三是诚请各位专家严格把关技术路线、关键指标与质量管控。中稀研究院将扛起主体责任，将项目打造为深圳市重点产业研发计划的示范项目和产学研协同创新的典型样本。

会上，项目负责人就项目整体规划作了系统汇报。各参与单位分别汇报了所承担的工作任务。项目专家组围绕技术路线、指标设定、项目管理等方面提出了多项建设性意见。  此次启动会的成功召开，标志着中稀研究院在集成电路关键材料领域又迈出坚实一步，将为加快突破高端稀土抛光液技术壁垒、助力半导体产业链自主可控注入强劲动能。

来源：中国稀土集团创新科技有限公司

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