深度独家|2024年中国半导体设备零部件行业TOP10企业竞争力排行榜- 大数跨境

深度独家|2024年中国半导体设备零部件行业TOP10企业竞争力排行榜

维科网产业招商

2024-05-27

半导体产业中半导体设备的重要性不言而喻，我们曾对半导体设备行业开展过深入的调研并发表过一篇《深度独家|2023年中国半导体设备行业竞争力排行榜TOP10》，对设备企业竞争力进行了分析，简言之，在半导体制造产业链条之中，所涉及的设备多达20余类，但设备的国产化率均比较低，仅有个别技术要求不是特别高的设备国产化率在50%以上，大多数半导体设备的国产化率在20%甚至10%以下，像光刻机这样非常核心的设备仅有1%的国产化率。

而半导体设备则是由成千上万个零部件组成，半导体制程的升级很大程度上取决于精密零部件的技术突破。而这些国产化率很低的半导体设备所使用的零部件大多需满足高精密、高洁净、耐腐蚀等要求，且认证周期长，在技术与客户的双重壁垒下，设备零部件“卡脖子”现象比设备更严重，石英部件国内仅菲利华、石英股份布局，整体自给率在10%-15%，边缘环、反应腔喷淋头自给率也在10%左右，泵、陶瓷件、射频发生器、机械臂、气体流量计等自给率在1-10%之间，而阀门、测量仪、O型密封圈等部件的自给率不足1%。

中国半导体设备零部件自给率情况

资料来源：OFweek维科网产业研究中心

国产化水平低则意味着国产替代空间大，根据Wind数据，中国半导体设备零部件销售额从2016年的227亿元增长至2023年的1073亿元，尤其是2021年以来，我国半导体零部件市场规模直接跃升至900亿元平台，2023年更是突破千亿规模，成为全球最大应用市场。

2016-2023年中国半导体设备零部件市场规模变动趋势（亿元）

资料来源：Wind OFweek维科网产业研究中心

国内市场“蛋糕”很大，但国产厂商分到的却不多，国内很多设备厂商及晶圆制造厂商前几年几乎都以进口零部件为主，随着近年来，国产厂商加快布局零部件产品，部分头部企业不断在细分领域掌握自主知识产权，国产零部件厂商才逐步进入国内设备/晶圆制造企业的供应链体系。

但总体来看，由于零部件种类多样，国内企业多以细分产品见长，整体市场竞争比较分散。维科网产业研究中心从企业营收、技术研发、客户群体等多个维度对国内半导体设备零部件企业的竞争力进行排行，具体如下：

2024年中国半导体设备零部件TOP10企业竞争力排行榜

排名	企业	设备市场竞争力	设备技术竞争力	设备市场开拓力	综合实力
1	富创精密	★★★★★	★★★★★	★★★★★	★★★★★
2	中科科仪	★★★★	★★★★	★★★★	★★★★
3	菲利华	★★★★	★★★★	★★★★	★★★★
4	江丰电子	★★★★	★★★★	★★★	★★★
5	先锋精科	★★★★	★★★★	★★★	★★★
6	汉钟精机	★★★★	★★★★	★★★	★★★
7	新莱应材	★★★★	★★★	★★★	★★★
8	机器人	★★★	★★★★	★★	★★★
9	珂玛科技	★★★	★★★★	★★	★★★
10	华亚智能	★★★	★★★★	★★	★★★

资料来源：OFweek维科网产业研究中心

富创精密

富创精密全称沈阳富创精密设备股份有限公司，前身为富创有限，源自于中科院沈自所，成立于2008年，由沈阳先进制造有限公司、辽宁科发、天广投资共同出资成立，至2020年公司整体变更为股份公司上市之时，沈阳先进制造有限公司仍为富创精密第一大股东（持股16.91%），实际控制人为郑广发（直接及间接持有富创精密股份表决权比例为34.03%）。

富创精密主营业务是金属材料零部件精密制造，应用于半导体、泛半导体设备领域，是国内半导体设备精密零部件龙头，其在公告中也多次言明“公司是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商”，富创精密自2011年成为AMAT（应用材料，全球半导体设备龙头）的供应商可以为这一声明提供有力支撑。

截至目前，富创精密提供的半导体零部件产品在其年报中可以清楚看到，包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类。

富创精密主要产品

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资料来源：富创精密年报 OFweek维科网产业研究中心整理

工艺零部件是在半导体设备中与晶圆直接接触或直接参与晶圆反应的零部件，可延长半导体设备使用寿命、提升晶圆制造良率，富创精密供应的工艺零部件产品包括过渡腔、传输腔、反应腔、内衬、匀气盘，主要应用在刻蚀设备、薄膜沉积设备当中，尤其是匀气盘方面，富创精密可提供应用于7纳米制程的半导体设备，国内唯一。

结构零部件起到连接、支撑和冷却作用，不与晶圆直接接触，富创精密的具体产品包括托盘轴、铸钢平台、流量计底座、定子冷却套、冷却板等，在抛光设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、涂胶显影设备中均有应用。

此外，富创精密的模组产品和气体管路产品也比较丰富，且都已通过国际主流客户认证。

产品行不行，业绩说了算。富创精密营收规模从2019年的2.5亿元一路攀升至2023年的20.66亿元，年均复合增长率高达68.98%，增速之快“匪夷所思”，净利润也从2019年的亏损三千万到2023年净赚1.68亿元，富创精密也逐渐从寂寂无名成长为如今的行业龙头。但2023年富创精密在行业半导体整体不景气的大环境下虽然依然保持增长势头，但也出现了“增收不增利”的情形，公司在对外公告中称主要是由于公司研发费用、销售费用大大增加，产品毛利大幅下降，在行业整体下滑的当下大幅资产设备、人员投入增大了公司运营成本所致。

2019-2023年富创精密业绩表现

资料来源：富创精密年报 OFweek维科网产业研究中心整理制图

富创精密是第一个在精密半导体零部件领域打入AMAT公司的内资厂商，彼时富创精密的产品也多以外销为主，国际主流客户包括AMAT、TOCALO、VAT、ASMI等。但随着美国对中国半导体产业遏制力度的加大，富创开始逐步转变市场思路，产品在国内半导体设备商中得到越来越多认证，外销比例从2019年的84.66%下滑至2023年的29.54%，大陆地区半导体设备商已经成为公司最主要客户，如北方华创、华海清科、拓荆科技、帆宣科技、中科信装备、芯源微、凯世通。中国半导体设备虽然在很多关键环节如光刻机、刻蚀机、涂胶显影等进口比例仍很大，但国产厂商崛起已是势所使然，未来富创精密国内销售占比仍有进一步提升的趋势。同时，富创精密为了规避欧美国家的贸易壁垒，正加速国外建厂的步伐，据悉美国工厂和新加坡工厂正有序建设中。

2019-2023年富创精密营收区域分布

资料来源：富创精密年报 OFweek维科网产业研究中心

研发投入情况：富创精密的崛起离不开国家对半导体产业的支持，2006年2月，国务院发布《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》，提出开展16个重大专项，并指出重大专项是通过核心技术突破和资源集成，在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程，是我国科技发展的重中之重。富创精密在其招股说明书中披露公司2011年、2014年分别承担了02专项下的“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”两个子项目，借此，公司在半导体零部件领域的技术实力一举跃升为国内顶尖水平，并得到国际客户的认证。

公司产品市场开拓能力的提升也给公司加大研发投入提供不竭动力，2019年以来，公司研发投入水平已从千万级别提高至亿元级别，2023年直接突破2亿元大关。借此，公司也取得了比较显著的研发成果，截至2023年底，富创精密累计申请发明专利418个，已获得授权48个。富创精密仍在加快研发步伐，总投资超3亿元的“高性能涂层工艺开发”项目已累计投资约2.1亿元，主要应用于刻蚀机和薄膜沉积设备，目标是开发出热喷涂、原子层沉积技术，完成产品上机验证并实现量产；同时，据公司半年报披露，“核心功能部件开发”“气体传输系统工艺技术开发”两个在研项目预计总投资规模超过2亿元，分别应用于刻蚀机、薄膜沉积设备、半导体管路件加工机气柜测试等设备。

2019-2023年富创精密研发投入趋势

资料来源：富创精密年报 OFweek维科网产业研究中心

中科仪

中科仪全名为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，成立于2001年，控股股东为国科科仪控股有限公司，是中国科学院出资设立的国有独资企业，最终受益股份比例为35.21%。目前正在新三板中小企业股转系统上市流通。2019年，中科仪为赴科创板上市，引入国家集成电路基金、国科科仪等战略投资者，自此国家集成电路基金成为公司第二大股东，持股比例为19.73%。

中科仪半导体设备零部件产品为真空设备，包括真空应用设备、真空获得设备和真空产品部件三类，真空应用设备主要满足科研机构及大专院校研究之用，真空获得设备包括罗茨干泵、爪式干泵、螺杆干泵、涡旋干泵等真空获得系统产品，真空产品部件则包括波纹管、陶丰引线、观察窗、磁控靶、样品架、传递机构等。

作为国有控股企业，中科仪在研发上得到了国家政策及财政的大力支持，其在年报中称“公司组建的真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家分子束外延技术开发实验基地等国家级技术创新平台，曾承担多个国家重大科技专项，包括“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（“02 专项”）、“高档数控机床与基础制造装备”（“04 专项”）、 “国家重点研发计划重大科学仪器设备开发重点专项”等，同时也作为全国真空技术标准化技术委员会副主任委员单位，负责或作为主要参与方起草了 13 项真空技术相关的国家及行业标准。” 这为中科仪成长为国内干式真空泵龙头打下坚实科研基础。

相对于快速增长的营收规模来看，中科仪主业的“赚钱”能力稍显不足，而投资能力则明显“更胜一筹”。2019年以来，公司归母净利润快速攀升，从-2443万元快速提高至6亿元，扣非净利润从亏损到逐步盈利，业绩大幅改善，2023年扣非净利润达到7045.8万元，同比增长14.3%，但公允价值变动损益对归母净利润贡献较大，主要是由于公司参股公司（拓荆科技）股票价格上涨带来的投资收益。

公司业绩的改善也是公司不断开拓半导体制造以及设备领域客户的结果，截至目前，中科仪已从中芯国际、长江存储、华力微电、武汉新芯、芯恩集成、积塔半导体、北方华创、晶盛机电等多个知名半导体巨头手中拿下零部件大单。

2019-2023年中科科仪业绩表现

资料来源：中科科仪年报 OFweek维科网产业研究中心

从研发投入强度看，2019年以来，公司研发投入占营收比重是下降的，主要是因为公司业绩增长较快，而研发投入增长相对不高所致，但相比以往，中科仪2023年投入研发费用8465.08万元，比2019年仍增长超过一倍，也是历史最高。截至2023年底，公司累计取得发明专利89项。

2019-2023年中科科仪研发投入趋势

资料来源：中科科仪年报 OFweek维科网产业研究中心

菲利华

菲利华（湖北菲利华石英玻璃股份有限公司）成立于1966年，至今已有57年的历史，公司主业是开发气熔石英玻璃、合成石英玻璃、电容石英玻璃与石英玻璃纤维，主导产品包括石英玻璃锭、筒、管、棒、板、片，石英玻璃器件，石英玻璃纤维系列产品，石英玻璃纤维立体编织预制件，以及以石英玻璃纤维为基材的复合材料。主营的石英玻璃材料及其制品在半导体领域的应用主要是半导体刻蚀、扩散、氧化等工序所需的承载器件与腔体耗材。

菲利华在半导体设备零部件领域的布局始于2015年收购上海石创，公司从上游石英材料延伸至下游石英制品加工，截至目前，菲利华仍然是全球第五家、国内唯一一家获得主要半导体设备商（东京电子、应用材料、LamResearch）认证的石英材料供应商，在石英材料领域具备领先的技术实力。

2023年上海石创实现营收6.73亿元，按照59.08%的持股比例，菲利华可确认的收入接近4亿元，而整个公司半导体业务规模粗略估计在8亿元左右，业务占比接近三成。从公司整体业绩看，2019年，菲利华只有7亿多元的营收规模，2023年已增长至20.9亿元，年均增速高达28.6%。公司的研发投入水平也保持逐渐增长的趋势，2023年更是首次突破2亿元，来到2.23亿元，相比2022年增长44%，研发人员也从2019年的243人增加至2023年的677人，公司不断扩大研发投入，技术实力显著提升，公司2023年开展的“电熔不透明石英玻璃的制备技术”已实现小批量制备出符合标准要求样品，截至目前，公司的半导体设备客户包括中微公司、北方华创、TEL、LAM、AMAT等国内外知名设备厂商。

2019-2023年菲利华研发投入趋势

资料来源：菲利华年报 OFweek维科网产业研究中心

江丰电子

江丰电子全称宁波江丰电子材料股份有限公司，位于浙江宁波余姚，成立于2005年，江丰电子专注于高纯溅射靶材产品的研发、生产与销售，主要产品包括铝靶、钛靶、靼靶、钨钛靶等，是大规模集成电路制造的关键材料之一，公司目前是全球高纯溅射靶材龙头企业之一，全球市占率排名第二。

2017年开始，江丰电子依托在半导体领域积累的客户资源，通过与国内多家机台厂商合作，利用自身强大的机械加工能力，开发机台使用的金属零部件，正式切入半导体设备零部件领域，据其在年报中披露“集成电路芯片制造工艺中除了会用到大量的溅射靶材外也会用到大量消耗性金属零部件，由于对应客户基本相同，公司引进了掌握零部件技术及市场的核心人才全面开发此类产品”，主要开发的零部件产品包括保持环、活化盘、抛光垫等，主要对接PVD、CVD、刻蚀机等工艺设备，2018年零部件产品便在客户端取得了量产订单，公司布局半导体设备零部件取得成效。

同时，随着中国半导体设备国产化替代进程的加快，江丰电子也紧跟时势，加速扩大半导体设备零部件布局，2023年10月江丰电子公告称拟以自有资金12777.25万元收购控股子公司宁波江丰芯创科技有限公司45.99990%股权，完成收购后，芯创科技将成为公司江丰电子全资子公司。控股子公司睿昇半导体在云南丽水投资10亿元建设集成电路制造设备用关键零部件产业化项目，据项目环境评价报告显示，项目主要建设集成电路大型溅射设备零部件生产线，生产传输平台、反应腔、传输腔、焊接反应腔等产品，产能为6000套/年。截至目前，江丰电子半导体设备零部件已有余姚、上海、杭州、沈阳和丽水五大基地，产品也在向气体分配盘、Si电极等非金属类零部件扩展。2023年实现收入5.7亿元，在国内半导体设备零部件行业市场占有率方面排在第六位。

公司研发投入绝对值逐年走高，2023年达到1.72亿元，研发投入强度也是近四年来的新高。在专利获取方面，截至2023年，公司及子公司共取得国内有效授权专利784项，其中发明专利482项。另外，公司取得韩国发明专利 4 项、中国台湾地区发明专利 1 项、日本发明专利 2 项。截至目前，公司半导体设备零部件客户包括中芯国际、拓荆科技、上海微电子、中芯南方、华力集成、上海盛美、北方华创等。

2019-2023年江丰电子研发投入趋势

资料来源：江丰电子年报 OFweek维科网产业研究中心

先锋精科

先锋精科全称为江苏先锋精密科技股份有限公司，成立于2008年，前身为“靖江先锋半导体科技有限公司”，2022年进行了股改并在2023年申请科创板IPO，目前仍处于审核状态。根据先锋精科披露的招股说明书显示，公司是半导体刻蚀设备和薄膜沉积设备零部件供应商，其为刻蚀设备和薄膜沉积设备提供的产品包括关键工艺部件、工艺部件和结构部件三大类，其中关键工艺部件产品包括腔体（反应腔、过渡腔、传输腔）、内衬、加热器、匀气盘等，工艺部件产品包括腔体盖板、接地环、喷嘴、气体分配环等，结构部件包括普通盖板、法兰板、信号箱、射频连接板等。

近年来，先锋精科不断加大在先进制程设备上的布局，其在公告中称“公司产品已在7纳米制程及以下得到广泛应用”，从其公布的招股说明书中也可看出，自2020年以来，先锋精科零部件产品在7纳米制程及以下刻蚀设备中的销售金额占比从2020年的14.81%提升至2023年上半年的20.12%，公司产品先进性在客户中的认可度逐步提高，但成熟制程设备依然是公司产品最主要的应用领域。

凭借公司产品的技术实力，先锋精科与北方华创、中微公司等半导体设备公司形成了“深度绑定”的关系，据其招股说明书显示，2020-2022年，包括北方华创、中微公司、中芯国际在内的前五大客户销售占比均在80%以上，其中中微公司、北方华创和中芯国际既是公司核心客户又是公司持股股东。

近年来，先锋精科业绩增长明显，下游客户也不断增多。2020-2022三年间，先锋精科业绩从2.02亿元增长至4.7亿元，年均复合增幅高达52.7%，公司拓客力度不断加大，除北方华创、中微公司、中芯国际之外，拓荆科技、华海清科、屹唐股份、昇先创集团等国内知名半导体设备厂商也先后成为公司客户。根据公司披露的招股说明书及对证监会的问询函回复，截至2023年6月30日，公司在手订单约有2.02亿元，其中关键工艺部件1.1亿元，占比高达63.2%。

研发实力看，2020-2023年，先锋精科研发投入水平从1300多万元增长至3000余万元，有明显增长，但研发投入强度相对较低，仅为6%左右，业务相似的富创精密近5年研发投入强度超过9%、中科仪近5年研发投入强度超过11%。

2020-2023年先锋精科研发投入趋势

资料来源：先锋精科招股说明书 OFweek维科网产业研究中心

新莱应材

新莱应材是国内洁净应用材料和高纯及超高纯应用材料供应商，其业务实质是通过对买入的高纯不锈钢材料进行开发设计、CNC精密加工、全自动精密焊接、表面处理、洁净室清洗与包装等工艺，制造高洁净真空室、泵、阀、法兰、管件、管道等产品，作为制程设备的组成部分，满足半导体、生物医药、食品包装等领域的生产之用。其为半导体设备厂商提供的产品包括高真空和超高真空的法兰、管件、钢瓶、传输阀、铝合金与不锈钢闸阀、角阀、腔室、加热带、视窗、无氧铜垫片等，这些部件对半导体工艺性能起到决定性作用，新莱应材产品已经得到了国内外多个头部半导体设备大厂的认证与应用。

新莱应材全称是昆山新莱洁净应用材料股份有限公司，1991年创立于中国台湾，2000年总部搬迁至江苏昆山。2019年新莱应材营收规模为13.87亿元，2023年则大幅增长至27.11亿元，实现翻倍。业务规模的扩大也为公司持续增加研发投入奠定了基础，2023年公司研发人员突破200人，研发投入首次突破1亿元，达到1.1亿元。公司半导体设备零部件研发项目中“一种耐腐蚀性铝合金阳极氧化工艺的研发”已完结，“超高纯UHP管路系统”“高空隔膜阀”正处于小试阶段，公司技术实力提升潜力大。截至目前，新莱应材的半导体客户包括应用材料、LAM、北方华创、长江存储、合肥长鑫、无锡海力士、正帆科技、至纯科技、亚翔集成等知名客户。

2019-2023年新莱应材研发投入趋势

资料来源：新莱应材年报 OFweek维科网产业研究中心

汉钟精机

汉钟精机全名为上海汉钟精机股份有限公司，成立于1998年，主营压缩机和真空泵，其中为半导体客户提供的主要是螺杆式真空泵产品，具体包括PMF系列产品、iPM系列产品、iPH系列产品三大系列产品。其中PMF系列产品适用于LoadLock、Tansfer、Metrology等干净制程，已经实现批量交付；iPM系列产品适用于一般严苛工艺腔，如PVD、Ashing、Implant、ETCH等一般制程，目前仍处于开发阶段，预计今年底可面世；iPH系列产品适用于严苛工艺，如CVD、ETCH等严苛制程，已经通过部分8寸、12寸半导体芯片代工厂、封测厂及半导体设备制造商的认可并实现批量交付。

汉钟精机业务规模自2019年以来实现倍速增长，2023年营业收入实现38.52亿元，相比2019年的18.07亿元增长131.9%，但公司研发投入强度并没有随着业绩规模的扩大而上升，反而出现了小幅下降，2019年研发投入占营收比重为6.7%，2023年则下降至5.53%，整体上看公司研发强度在走低，但分业务领域看，公司在半导体领域的研发投入仍处于快速增长的态势，公司部分关键半导体设备零部件产品还在开发试验阶段。从汉钟精机公开的年报中也可看出，公司目前的半导体客户仍以台企为主，与包括中芯国际等在内的大陆厂商的合作仍在推进中。

2019-2023年汉钟精机研发投入趋势

资料来源：汉钟精机年报 OFweek维科网产业研究中心

机器人

机器人全称是沈阳新松机器人自动化股份有限公司，成立于2000年，机器人源自沈阳自动化所，公司控股股东及实控人为中国科学院沈阳自动化研究所，持股比例为25.43%。机器人自设立以来一直专注于工业机器人领域，为下游客户提供工业机器人与自动化成套装备产品，公司的工业机器人出货量常年稳居国内厂商前十名，在机器人领域积累了较高的品牌知名度，根据最新披露的年报，2023年公司各类工业机器人销量合计3797台，其中移动机器人2046台，根据维科网前不久发布的《2024 机器人+ 行业应用创新发展蓝皮书》显示，新松机器人在移动机器人行业综合竞争力排行榜TOP10中位列第四。

新松机器人自2004年左右在国家“863”计划、IC重大专项的支持下开启半导体装备基础零部件研发，2009年成功研制开发出具有自主知识产权的IC洁净机器人自动化装备和系列产品，到2013年公司的半导体设备零部件产品矩阵已经得到了极大丰富，可提供的产品包括真空机械手、洁净机械手、IC装备集成传输平台、预对准装置、半导体设备前端模组（EFEM）等。随着公司在半导体设备零部件的持续耕耘，半导体设备零部件业务规模快速扩大，2023年实现2.88亿元销售收入，在半导体用真空机械手行业中稳居市场份额第一。同时，机器人在2023年转变半导体设备零部件业务运营形式，设立全资子公司沈阳新松半导体设备有限公司，以独立子公司的形式运营半导体装备业务。

大规模的研发支出是公司产品性能不断提升并获得市场认可的保障，自2019年以来，公司研发支出始终保持在2亿元以上，虽然绝对值有下降趋势，但2023年研发支出仍有2.9亿元左右，研发投入强度为7.33%。同时，机器人仍不断优化产品性能并推出新产品，其在年报中披露“2023年度，公司大幅提高了真空机械手的节拍、优化了真空机械手臂结构，升级编码器，优化算法，攻克了真空机械手在重复定位的精度。在真空度方面，构建极限真空测试环境、成功突破真空机械手全系列产品本体原有真空度”并取得了不错的市场效果，“真空直驱机械手成功实现批量交付，其中，两轴真空直驱机械手产品随下游工艺设备厂批量进入终端FAB厂进行设备验证；三轴真空直驱机械手已完成工艺设备厂客户端验证，处于终端FAB厂验证阶段；四轴真空直驱机械手已实现自研，目前处于厂内测试阶段”，新品方面，公司成功研发Aligner多种型号产品，部分6/8寸兼容Aligner产品完成了客户端验证，实现批量订单；设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场等等。

截至目前，机器人的主要半导体晶圆制造/设备制造客户北方华创、拓荆科技、中微公司、屹唐股份、上海华力微、三安光电、上海微电子等认证或验证。

2019-2023年机器人研发投入趋势

资料来源：机器人年报 OFweek维科网产业研究中心

珂玛科技

珂玛科技前身为苏州珂玛材料技术有限公司，设立于2009年，2018年整体变更为苏州珂玛材料科技股份有限公司，并于2022年申请创业板IPO，上市审核仍在进行中，公司实际控制人是刘先兵，实际控股比例高达60.04%。

珂玛科技主营业务是先进陶瓷材料零部件，主要应用于晶圆制造前道工艺设备，核心应用设备包括刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、光刻机以及氧化扩散设备。珂玛科技自成立起便专注于先进陶瓷材料的开发，目前已经拥有由氧化铝、氧化锆、氮化铝、氧化钇和氧化钛6大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系，可提供包括圆环圆筒类、气流导向类、承重固定类、手爪垫片类、模块等5大产品系列27类核心产品，在国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件行业中居于头部地位。

珂玛科技主要产品

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资料来源：珂玛科技招股说明书 OFweek维科网产业研究中心

成立之初，珂玛科技先进陶瓷材料仅有氧化锆一类，2012年开始向氧化铝拓展并打入北方华创、拓荆科技等半导体设备厂商供应链。2016年，公司承接“02专项”陶瓷加热器子课题，并于2020年结项，此时公司已经将材料体系扩大至氧化锆、氧化铝和烧结碳化硅三类，产品市场也进一步向全球各大半导体设备厂商延伸。2022年以来，珂玛科技过个型号的陶瓷加热器实现量产，于2020年开启研发的静电卡盘项目（8寸静电卡盘）实现小批量生产，同时6大类材料体系也正式形成，公司提供的先进陶瓷材料零部件产品在客户范围和设备应用范围方面均取得突破。

珂玛科技最新更新的招股说明书显示，公司重点投入研发的陶瓷加热器中8寸CVD陶瓷加热器已经通过客户验证并量产、12寸PECVD/LPCVD已通过客户验证，静电卡盘中的8寸刻蚀机用静电卡盘已通过客户验证并量产、12寸刻蚀机用静电卡盘正在客户处测试，超高纯碳化硅套件已经取得北方华创订单。

2019年以来，珂玛科技业绩稳步提升，2023年实现营收48044.96亿元，近5年年均复合增长率为28.6%，同时，公司研发投入强度也逐步提高，研发人员从2019年的26人增长至2023年的152人，研发投入规模从870万元提升至4653.27万元，研发投入强度也从2019年的不足5%提升至如今的9.69%。业内领先的技术水平使得珂玛科技产品具备较强的拓展能力，截至目前，珂玛科技产品已经成功打入包括北方华创、中微公司、上海华力微、芯源微、长光华芯等多个半导体头部厂商供应链体系。

珂玛科技研发投入趋势

资料来源：珂玛科技招股说明书 OFweek维科网产业研究中心

华亚智能

华亚智能全名为苏州华亚智能科技股份有限公司，位于江苏苏州，成立于1998年，主营业务是专业领域的精密金属制造，据华亚智能年报披露显示，半导体设备结构件业务在公司整体业务中占比超过50%，且保持小幅增长的态势，半导体业务正成为公司核心业务。

公司半导体设备零部件产品主要包括UFA、4W-EFEM、MOCVD、CEFEM、AKT、MOMENTUM、RUDOLPH、SM3等多个系列产品。具体包括应用于晶圆刻蚀气体输送中心、晶圆（清洗、沉积）控制平台、晶圆成膜（PECVD）设备气体输送平台、超高亮度 LED薄膜沉积设备、全自动锡膏印刷机、晶圆检测设备（AWX）成像检测平台等半导体设备的精密金属结构件。

2019年以来，在半导体行业景气度不断提升的大环境下，华亚智能业绩步步高升，从2019年的3.1亿元增长至2022年的6.2亿元，实现翻倍增长，2022年下半年以来半导体产业迎来周期下降阶段，华亚智能业绩大幅下降，营收规模直接下降至4.6亿元。尽管如此，公司依然保持较为平稳的研发投入强度，近几年研发投入增长至2000万元以上，研发投入强度保持在4%以上的水平。伴随半导体产业库存逐步出清，产业底部反转将近，华亚智能业绩表现有望迎来上升。截至目前，华亚智能半导体客户包括AMAT、Lam Research、Rudolph Technologies、超科林、ICHOR、捷普、天弘、依工电子、中微公司等。

华亚智能研发投入趋势