沪硅精密陶瓷科技（苏州）有限公司
沪硅精密陶瓷科技团队由中科院硅酸盐所、微系统所及沪硅管理运营团队组成，沪硅管理运营团队是以上海交大背景，有世界五百强及美国半导体装备研发机及械制造经验的精英团队。
沪硅精密陶瓷科技团队掌握特种陶瓷粉体配方、制备工艺、核心装备制造、精密机械加工等跨专业的核心技术能力。沪硅科技致力于面向半导体装备，尤其是涉及特殊工作条件的核心装备（如刻蚀机、CVD薄膜沉积）的精密陶瓷零部件的研究和生产，金属材料机械加工，以及面向装备企业的定制化服务，为客户提供全面的解决方案。
沪硅科技与中微及国内光刻机主流厂商保持紧密合作，致力于填补国内耐等离子体侵蚀陶瓷方面产业空白 ，提高半导体装备国内大循环的自主可性 ，为客户提供高品质、高效率、高附加值的产品和服务。
代表产品①：高纯氧化铝陶瓷
99.6% 以上高纯度氧化铝陶瓷相比其他金属及塑料等原材料对化学侵袭具有高抵抗性，同时还具有结构致密且硬度高而极为耐磨的特性。
高纯度氧化铝陶瓷具有良好的刚性和耐磨性，可用于晶圆抛光；即使长期使用，仍可保持良好的表面形态。
高纯度 Al2O3 陶瓷还具有高温下电绝缘性以及可耐1,600~1,700°C高温的耐热性。
正因上述特性，作为在高温真空等离子环境运行的蚀刻机工程等所使用消耗性零部件核心原材料广泛使用。
代表产品②：抗等离子体侵蚀陶瓷
能够在高温、高压等极端环境下抵抗等离子体侵蚀的陶瓷材料。它主要由氧化锆、氧化钇和其他添加剂组成，具有高温稳定性、高强度、低热膨胀系数等特点，因此在航空航天、核能等领域得到广泛应用。
与常规的氧化铝陶瓷相比，稀土氧化物Y2O3具有更为优异的抗等离子体侵蚀性能，是理想的刻蚀腔体材料。
YAG陶瓷是Y2O3-Al2O3复合氧化物陶瓷的简称，兼顾Al2O3 陶瓷良好的力学和热学性能以及Y2O3陶瓷卓越的抗等离子体侵蚀性能，能够为客户个性化定制。
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