台积电在其2023年欧洲技术研讨会上透露了有关其即将推出的N2和N2P工艺技术的更多细节。这两个生产节点的开发都考虑到了高性能计算(HPC),因此,它们具有许多专门设计用于改进的增强功能表现。同时,鉴于大多数芯片旨在改进的性能效率重点,低功耗应用也将利用台积电的N2节点,因为与前代产品相比,它们自然会提高每瓦性能。
“N2非常适合我们今天所处的节能计算范式,”负责代工厂高性能计算业务部门的台积电业务发展总监YujunLi在公司2023年欧洲技术研讨会上说。在整个电压供应范围内,N2相对于N3的速度和功率优势非常一致,使其同时适用于低功率和高性能应用。
台积电的N2制造节点——该代工厂第一个使用纳米片环栅(GAAFET)晶体管的生产节点——承诺在相同的功率和复杂性下将晶体管性能提高10%-15%,或者在相同的时钟速度和晶体管数量。在提高晶体管性能方面,功率传输是基石之一,而台积电的N2和N2P制造工艺引入了多项与互连相关的创新,以挤压一些额外的性能。此外,N2P引入背面电源轨以优化功率传输和die面积。
N2带来的创新之一是超高性能金属-绝缘体-金属(SHPMIM:super-high-performancemetal-insulator-metal)电容器,可增强电源稳定性并促进片上去耦。台积电表示,与几年前为HPC推出的超高密度金属-绝缘体-金属(SHDMIM)电容器相比,新型SHPMIM电容器的容量密度提高了2倍以上(与上一代HDMIM相比,其容量增加了4 倍)。与SHDMIM相比,新的SHPMIM还可以将Rs薄层电阻(欧姆/平方)降低50%,并将Rc通孔电阻与SHDMIM相比降低50%。
降低电力传输网络中电阻的另一种方法是重新设计再分配层(RDL)。从其N2工艺技术开始,台积电将使用铜RDL代替今天的铝RDL。铜RDL将提供类似的RDL间距,但会将薄层电阻降低30%,并将通孔电阻降低60%。
SHPMIM和CuRDL都是台积电N2技术的一部分,预计将在2025年下半年(大概是2025年很晚)用于大批量制造(HVM)。
使用背面供电网络(PDN)是N2P的另一项重大改进。背面电源轨的一般优点是众所周知的:通过将电源轨移到背面来分离I/O和电源线,可以使电源线更粗,从而降低线路后端(BEOL)中的通孔电阻),这有望提高性能并降低功耗。此外,去耦I/O和电源线可以缩小逻辑面积,这意味着成本更低。
在其2023年技术研讨会上,该公司透露其N2P的背面PDN将通过减少IR压降和改善信号,将性能提高10%至12%,并将逻辑面积减少10%至15%。当然,现在这种优势在具有密集供电网络的高性能CPU和GPU中会更加明显,因此将其移到后面对它们来说意义重大。
BacksidePDN是台积电N2P制造技术的一部分,将于2026年底或2027年初进入HVM。
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