国内首台变温薄膜热导率测试系统（TCT-HT）重磅发布- 大数跨境

华盼科技

2018-01-22

导读：武汉嘉仪通研发的变温薄膜热导率测试系统（TCT-HT）重磅发布，其为国内首台检测薄膜材料热导率及热扩散系数的

武汉嘉仪通研发的变温薄膜热导率测试系统（TCT-HT）重磅发布，其为国内首台检测薄膜材料热导率及热扩散系数的商业化仪器，拥有核心自主知识产权（5项专利技术），一举填补国内市场空白。同时该款仪器采用高精度控温器算法，匹配独特的样品腔设计，控温精度可达±0.1K，此外还拥有样品装夹方便、密封性好，真空度高等一系列优势特点。武汉嘉仪通科技有限公司总经理王愿兵以及湖北省工程实验室主任童浩博士共同为新产品揭幕。

薄膜热导率测试系统（TCT）

本仪器采用3ω测试方法，利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量，可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件等。

产品优势

l不直接测量温度变化，而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为的电信号的变化来实现微/纳米薄膜材料的热导率，微伏级电压值，保证测量结果的高精确度。

l采用交流电加热方式，同时选择并优化设计加热电极的形状与尺寸，可保证加热均匀性及测试应用的广泛性、准确性与稳定性。

l待测薄膜样品材料尺寸极小，能有效减小黑体辐射引起的测量误差。

友好的软件界面。

技术参数

型号	TCT-CL	TCT-RT	TCT-HT
温度范围	150K~RT	RT	RT-500K
测试对象	半导体薄膜、导电薄膜、绝缘薄膜等
热导率测量范围	0.1-10W/（m·k）
测试精度（热导率）	±5%(在Si上测量)，±10%（其他）
适合氛围	真空
样品尺寸	长 x 宽：(5-10)x(5-10)，单位mm,薄膜厚度≥100nm
其他注意事项	测量导电薄膜时，需要沉积绝缘层（推荐：Sio₂），薄膜表面要非常光滑，确保绝缘层不漏电；衬底热导率要远大于薄膜热导率，推荐使用Si、AIN等高热导衬底。
主机尺寸	710 x 600 x 490，单位mm
重量	80kg