热膨胀系数分析仪（TEA）
Thermal ExpansionCoefficient Analyzer
热膨胀系数分析仪（TEA）
TEA采用创新的光干涉原理专利技术，可无损检测块体和薄膜样品的热膨胀系数，广泛应用于辅助各种新材料，尤其是薄膜材料的研究与开发以及质量检验。
独特优势
自主知识产权产品，拥有多项技术专利
基于光干涉原理的创新技术
采用PID调节与模糊控制相结合形式控制的红外加热方式，大温区连续、高速温度跟随、既定程序升温及保持控制
非接触式无损检测，测试精度高
具备外接抽真空设备、循环水冷设备及载气或制冷能力
测试原理
1.入射光 2.光束隔离器 3.投射光
4.待测样品 5.反射光 6.反射光
7.聚光镜 8.滤光片 9.光电传感器
光路原理图
激光器射出的光线经分光镜照射到样品上表面，产生反射光，同时投射光照射到下表面也产生一束反射光，两束反射光在光电探测器处发生干涉，反射光功率发生周期性变化，得到光功率随材料温度的变化曲线，通过计算得到热膨胀系数。
技术参数
型号 |
TEA-300 |
TEA1200 |
TEA-1800 |
温度范围 |
RT~300℃ |
RT~1200℃ |
RT~1800℃ |
程序升温重复性偏差 |
＜1.0% |
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程序升温速率偏差 |
＜1.0% |
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热膨胀系数测量精密度偏差 |
＜4.5% |
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热膨胀系数测量正确度偏差 |
＜±15% |
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最大工作功率 |
4.0kw |
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最大升温速度 |
50℃/s（50℃~1200℃、真空氛围），45℃/s℃/（50℃~1200℃，N₂氛围） |
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温度一致性 |
±2.0℃（1200℃，真空），±4.5℃（1200℃，N₂） |
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制冷要求 |
水冷 |
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热膨胀分辨率 |
266nm |
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样品要求
尺寸：长×宽5x5~20x20mm2，厚度2.0mm（含基底）以下为宜
适用于透光材料的热膨胀系数检测
具备光学反射双平面
检测样品的热膨胀量≥266nm
应用实例
SiC薄膜热膨胀系数监测曲线（中国电子科技集团第五十五研究所提供样品）
显示屏玻璃热膨胀系数监测曲线（武汉天马微电子有限公司提供样品）
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