2026 实验室仪器选型指南：显微、原位、清洁度、原子制造一站式配齐

• 相关多模态样品分析：可将同位置的 AFM （三维形貌、电学、磁学等） 和 SEM （二维形貌、EDS等）数据无缝关联。

• 原位样品表征：在 SEM 内部的原位条件下确保样品分析同时、同地、同条件下进行，在飞纳电镜内部也能实现原子级分辨率。

• 精确定位感兴趣区域：使用 SEM 导航 AFM 尖端到感兴趣区域，定位更精准，且定位速度远超传统 AFM。

• 使用 SEM 对 AFM 探针进行精准定位，并实现高分辨成像

• 同一时间、同一位置和相同条件下获取 AFM 和 SEM 数据，并无缝关联

• 测量模式可涵盖形貌、CPEM、KPFM、MFM、PFM、STM、EFM、C-AFM、I/V 特性、F/z 特性等，可选配纳米压痕

• 可兼容赛默飞世尔、TESCAN、蔡司、日立、日本电子等主流品牌，其他品牌亦可定制

• 台式 AFM 的最快数据获取时间

• 自动配置、接近和扫描

• 电动 XY 和 Z 平台，可轻松定位样品

• 集成光学显微镜

• 易于使用、耐用的 AFM 芯片

• 从样品加载到获得 3D 纳米级数据，只需不到三分钟

• 一键式自动操作，几秒钟内即可将探针尖端对准样品

• 每个芯片都能进行 1000 次以上的扫描而无明显磨损

• 维护成本低，操作简便

ParticleX AC 全自动汽车清洁度检测【电镜法】

• 基于 SEM 和 EDS 成分分析
  

• 符合 VDA19 和 ISO16232 标准

• 7X24h 全自动分析

• 自动检测 SiO₂， Al₂O₃ 等硬质颗粒并分类

从研发到生产，ParticleX AC 提供的定量数据快速、准确又可靠，一键导出报告的功能更是省时省力。目前，奔驰、宝马、博泽、三电、三花等国内外知名车企都已投入使用。

MicroQuick 高性价比清洁度快速分析仪

• 行业标准：符合 VDA19 / ISO16232

• 快速简便：2.5 分钟内完成过滤分析并生成报告

• 绝对可靠：10 年内零维修案例

• “零”维护：自行校准，自动生成审计报告

MicroQuick 颗粒扫描仪由 RJL 公司开发，该方法已成为行业标准已有 15 年多的历史，并且符合 VDA-19.1 和 ISO-16232 标准。这款高分辨率颗粒扫描仪能够在不到 3 分钟的时间内自动确定残留污染物颗粒的数量、大小、形状以及金属光泽。

环境落尘颗粒实时监控仪 PFS

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5μm 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。

• 符合 ISO 14644-17 标准

• 可检测低至 0.5μm 颗粒

• 10 秒完成 2 英寸面积检测

• 适用于真空与常压环境

仪器表面颗粒物分析仪 SAS

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪基于“胶带粘取”采样技术，可通过间接测量方式识别小至 0.5μm 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm² 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求。

• 符合 ISO 14644-9 标准

• 可检测低至 0.5μm 颗粒

• 90% 采集效率 | >90% 重复性

• 10 秒完成检测

• ASML 也在用！

VSP-P1 纳米印刷沉积系统是 VSParticle 产品线中的高端设备，专为材料开发和小规模生产测试而设计。利用火花烧蚀材料的冲压沉积技术，能够实现从稀疏团聚体到厚达几微米的连续层的不同层厚度印刷沉积。它的图案化打印功能使得研究人员能够在非半导体类的纳米薄膜应用中实现精细的厚度控制。VSP-P1 在高效催化剂涂层膜的开发、电催化剂筛选和气体传感器研究中展现了其卓越的性能和灵活性。

VSP-G1 纳米粒子发生器是一台桌面式仪器，可生成尺寸范围为 1 – 20 nm 的纯金属、金属氧化物、碳、半导体、合金纳米气溶胶材料。纳米颗粒的生产采用纯物理火花烧蚀技术制备，完全在气相中进行，无需真空，无需使用表面活性剂或前驱体。用于纳米粒子生产的源材料仅需材料制成所需的两根靶材（电极），使用时只需安装电极并设置参数，按下按钮即可开始生成纳米颗粒。