导 语
AXIS Supra/Supra+系列X射线光电子能谱仪的真空系统需要定期进行维护。当仪器因停电、暴露大气或样品污染等原因无法达到测试所要求的真空时，就需要对仪器进行烘烤来恢复真空。
烘烤前的预准备
1. 设置仪器处于Off状态。
a. 右击左下角的状态图标，如下图所示：
b. 选择 Instrument > Turn off；
c. 关闭和高压有关的控制单元。
2. 移除仪器里所有的样品条和样品座。
3. 移除观察窗上的监控摄像头。
4. 若仪器有FEG附件，还需做如下操作。
a.右击左下角的状态图标；
b.选择 Instrument > Prepare instrument；
c. Excitation type选择 FEG Electron Gun；
d. 点击Off；
e. 关闭FEG；
f. 打开FEG的旁通阀；
g. 关闭离子泵，即常按离子泵上的HV键 ，看到指示灯熄灭即可；
h. 断开电缆和拧松2个螺丝，拿下SED。
5. 确认仪器外部黑色的面板都已安装到位。
6. 安装银色保温罩。
7. 安装黑色的保温管。
8.确认烘烤空气开关处于闭合状态。
烘烤的设置和启动
1. 通过真空控制单元（VCU）来设置烘烤条件，一般建议整个烘烤时间为24小时，其中冷却时间可设为8-12小时。
2. 烘烤条件设定完成后，可启动烘烤程序。
3. 整个烘烤过程需注意真空、水冷机以及控制阀门的气体压力是否正常。
4. 待整个烘烤程序结束后，移除烘烤罩子，复原烘烤前拆卸的部件。
烘烤结束后的设定
1. 待仪器充分冷却后，一般仪器真空可恢复到正常使用的状态，开启所有控制单元。
2. 通过仪器的自动程序对所有灯丝进行去气处理，并自动进行电机校准。
3. 所有程序完成后，仪器即可恢复正常使用。
本文内容为设备日常维护与操作的关键步骤，如在操作中遇到问题，请及时联系岛津分析客服中心，获取进一步协助。
