编者按
在改革开放40周年之际，市委统战部组织开展了“上海统一战线与改革开放四十周年”征文活动，得到了全市广大统战成员和统战干部的积极响应、踊跃参与。目前，文章征集阶段已经结束，即日起同舟君将选登部分来稿，与大家共同追忆改革开放40年来上海统一战线的发展变化，共同分享发生在统战成员身边的精彩故事。
1978年，在中国科大毕业十年，在石油化工和科学院研究所工作十年后的我，作为文革后第一届研究生来到了北京大学化学系就读。仅仅2年后，在迎来第3个本命年时，我成为北京大学第二个自费出国的留学生，远赴美国加州大学（UCLA）攻读物理化学博士。
作者在美国UCLA加州大学的博士照
毕业后，误打误撞进入英特尔中心研究开发部工作时，我还对芯片制造技术一无所知。谁又能想到，我有幸走到这一行业的前沿，在这个领域工作了34年，参与和领导了几代等离子体刻蚀设备的开发和市场引入，帮助美国和日本三个以等离子体刻蚀起家的设备公司在这个领域确立了主导地位，拥有了美国专利89项和包括中国地区在内的各国专利共300多项，见证了半导体行业光速发展的巅峰岁月。
英特尔创始人之一戈登·摩尔有一条著名的“摩尔定律”：集成电路芯片上可容纳的元器件数目，每隔18-24个月便会增加1倍，运算速度也会提升1倍。尽管国际半导体技术发展路线图的更新增长在2010年后已经放缓至预计每3年翻一番，但这一定律预计仍将在很大程度上持续相当长一段时间。我在英特尔工作时，有幸和摩尔先生及他的夫人共进晚餐，交谈了近两个小时，他的低调谦逊、和蔼可亲给我留下了非常深刻的印象。也使我认识到，做一个伟大的产业推动者，并不一定是非常凶悍、刚愎自用、严厉苛刻的人。
作者在北京四中捐款60万元，创立“中学生创新奖”
上世纪70年代，我在北京大学读书时，学校有一个当时几乎是国内最先进的电子计算机，是一台128K存储能量的电子管计算机。这个电子计算机占据了两栋多层大楼，里面有数不清的电子管。其实，这种电子管计算机美国在50年代就有了。到了80年代中期，我在英特尔中心研究开发部工作时，英特尔已经把128K EPROM存储器做到了一个指甲盖大的芯片上。而30年后的2015年，东芝已率先开发出128G的存储器了。在短短的几十年内，人类把能加工的微观结构的面积缩小了1万亿倍。这个加工能力的缩小，要靠十多种集成电路设备上千次的工艺集成，其中最关键的，是精雕细刻微观结构的设备——光刻机和等离子体刻蚀机。集成电路的飞速发展和带来的数码产业彻底改变了人类的生产方式和生活方式，如果设想把现在的手机退回到50年前的电子管计算机，需要200万栋5层的楼充满了电子管，而运算速度还比现在的手机慢了很多。
但凡来到我公司参观微半导体设备的人，可能会有点“失望”，因为我们的生产线与汽车制造等众多制造行业相比，显得“静悄悄的”，既没有机器人手臂上下翻飞，也没有人员如织的热火朝天。但我们造出的等离子刻蚀设备可加工几百种不同的工艺过程，仅以打孔为例，现在可以打出的孔只有人头发丝直径的几千分之一，加工精度、均匀性、重复性要达到上万分之一。一台刻蚀机每年要刻出100万万亿个孔，要达到99.99%的合格率，其挑战极限的难度之大可想而知。所以说，研发制作芯片的高端设备，其难度与精度之高，可谓高端制造业的最高端。
要摘取高端制造业王冠上的这颗明珠，对每一位科学家和企业家都是考验智慧与心力的巨大挑战，同时也蕴含着巨大的机遇。
作者（中）2004年离开美国应材的欢送会上，得到总裁授予的纪念牌
早在新世纪之交，我们就清楚地看到了亚洲和中国市场将会飞速崛起，这也正是我在上海市领导的动员下，决定归国创业的一个重要原因。当然，我清楚的知道创业之艰难，特别是在这样关键的半导体设备已被美日少数几个大公司垄断了几十年，进入门槛特别高的情况下，要想使一个全新的设备公司成功，更是天方夜谭。我的家族前三代都是在国外生活工作，回到祖国报效的。继承父业，这是推动我回来的动力。时任上海市经委副主任江上舟曾与我长谈几次，力邀我归国创业，几次的晤谈，让我真正下定了归国的决心，并且将上海作为首选目标。很高兴的是，国内半导体行业的市场发展印证了我们的预期，政府和业界改革开放的决心和不断进取的动量不断激励着我们，而中微的优异表现也足以令我和我的同仁们感到欣慰。
精诚合作的中微团队
经过14年的努力，中微开发的介质等离子体刻蚀机，深硅传感器刻蚀机和制造发光二极管LED的MOCVD设备，都已进入国际三强，在国内外40条生产线投入大生产, 已合格生产了2600万晶圆。在最近美国 VLSI Research 全球半导体设备公司客户满意度评比中，荣幸的被评为第三名。此外，由于中微非常重视知识产权，有严格的管理和有力的保护，在十多年和美国三大设备公司的专利和知识产权诉讼中，一直处于不败之地。
作为一名毕生都想不断开发新技术、创造新产品、攀登世界科技高峰的人，我很幸运，生长在中国迅速在全球崛起的时代，生长在半导体行业急剧变革的时代；作为一名从技术专家转型而来的企业家，我同样很幸运，生长在一个国际化、多元化的时代，生长在一个改革开放、鼓励创新的时代。
生而逢时，方能志存高远。
作者系中微半导体设备（上海）有限公司董事长兼首席执行官，市欧美同学会会员
