观点来源:半导体工程网制造部执行主编 MARK LAPEDUS
随着模拟器件、微机电系统(MEMS)和射频芯片需求持续增长,全球对200毫米晶圆制造产能及设备的需求显著上升,且短期内未见放缓迹象。
成本优势支撑成熟工艺需求
200毫米晶圆主要用于成熟节点生产的消费类器件、通信集成电路和传感器,不涉及先进制程芯片。许多应用如模拟、射频等无需先进工艺,200毫米晶圆在成本效益上更具优势。格罗方德射频业务高级副总裁 Bami Bastani 指出:“大量产品并不需要先进节点。”例如智能手机中除主控芯片外,电源管理IC(PMIC)、模拟和BCD技术仍广泛依赖200毫米产线,且客户短期内无更换计划。
市场需求持续旺盛
典型200毫米晶圆厂月产能约4万片,可支持从6微米至65纳米的多节点生产。联电(UMC)副总裁 Walter Ng 表示,当前180nm/130nm/110nm节点活跃,尤其RF SOI技术推动需求增长,功耗也是关键考量因素。
应用材料公司Mike Rosa指出,电动车、ADAS系统以及功能日益丰富的智能手机正驱动200毫米晶圆广泛应用,部分领域使用率已达100%。
Semico分析师Joanne Itow数据显示,2017年200毫米晶圆需求同比增长9.2%,主要由模拟器件、分立器件、微控制器、光电器件和传感器带动。尽管2018年增速回落至历史平均水平4.2%,但代工厂产能紧张,制造商扩产受限于设备短缺。
图:2018年按产品分类的200mm晶圆需求(来源:Semico Research)
产能变迁与长期生命力
首个200毫米晶圆厂始于1990年,成为行业标准多年。2000年后,产业逐步转向300毫米晶圆,200毫米建厂力度减弱,2007年达到数量峰值。然而自2015年底起,市场需求意外回升,导致2016至2017年产能持续紧缺。进入2018年,紧张态势延续,预计该产能将在未来十年保持活力。
SEMI分析师Christian Gregor Dieseldorff预测,全球运行中的200毫米晶圆厂数量将从2016年的188座增至2021年的202座,涵盖IDM与代工厂。
制造产能持续吃紧
2018年是200毫米晶圆制造产能连续紧张的第三年,预计下半年仍将维持高位,可能延续至2019年。虽然部分厂商因地缘政治因素重新评估建厂计划,导致设备需求略有下降,但整体产能仍处于供不应求状态。Itow表示:“200毫米能力持续紧张,二手设备需求却出现下滑。”
产业链积极应对产能压力
面对强劲需求,制造商和设备商正加大投入。多家企业包括格罗方德、三星、中芯国际、TowerJazz、台积电、联华电子等正在扩建或寻求新增200毫米产能。美国SkyWater技术公司也作为新进入者加入竞争,收购原Cypress位于印第安纳州的200毫米晶圆厂,提供CMOS、生物科学、硅光电、量子计算等定制化代工服务。
联电商业管理副总裁Walter Ng表示:“200毫米产能已完全分配,超量订购成为新常态,这并非个别现象,而是全行业的普遍挑战。”
中国主导新增产能建设
新建200毫米晶圆厂中,中国占据多数。SEMI数据显示,目前中国有4座200毫米晶圆厂在建,聚焦代工、功率器件与MEMS制造,另有2座规划中,预计将于年内或明年启动建设。
300毫米产能同步扩张
在先进节点领域,芯片制造商持续推进16/14纳米及以上制程的300毫米晶圆厂建设。Semico分析师Adrienne Downey指出,除逻辑器件外,存储器制造推动韩国与中国成为300毫米产能增长主力。
提升200毫米产能的可行路径
为缓解产能瓶颈,代工厂面临多重选择:
- 收购具备200毫米产线的企业
- 新建200毫米晶圆厂
- 扩充现有200毫米生产能力
- 将部分客户迁移至300毫米平台
- 转而建设300毫米晶圆厂作为替代方案
其中,收购虽能快速获取产能,但成本高昂。Ng指出:“拥有8英寸厂并考虑出售的企业报价普遍偏高。”新建工厂则需面对设备采购与投资回报周期长的挑战。
部分厂商尝试将客户迁移至300毫米平台以优化资源,但受限于成本敏感性,如功率分立器件等产品难以转移。应用材料Rosa强调:“300毫米建厂成本更高,还需考虑技术成熟度与可用性。”
新进入者:SkyWater的技术差异化
SkyWater运营一座200毫米代工厂,涵盖0.35微米、90nm等多种工艺。总裁Thomas Sonderman表示,其优势在于支持小批量、高度混合的定制化生产,在量产环境中实现研发能力,满足对ASIC和特殊技术的需求,同时提供具有竞争力的价格。
设备供应成关键瓶颈
IDM与代工厂可通过OEM、二手市场或分销渠道获取设备,但供需严重失衡。SurplusGlobal数据显示,2018年初市场需求约为2000套新或翻新设备,而市场仅能提供约500套。Emerald Greig指出:“需求远未满足,尤其由中国与IDM驱动。”
尽管下半年受地缘政治影响需求略有放缓,应用材料Rosa仍认为:“200毫米设备市场正迈向近年来需求最强的一年。”
主流设备商如应用材料、ASML、KLA-Tencor、Lam研究、TEL等已重启新型200毫米设备生产,并开展翻新业务。Rosa指出:“纯增产型设备可直接采购,但涉及新技术的设备无法从二手市场获得。”
Lam研究副总裁Evan Patton表示,公司在刻蚀、沉积、清洗等环节持续投入研发与翻新,目标支持汽车、物联网和射频市场的先进器件需求,并预计业务将持续增长至2030年甚至更久。
TEL高级副总裁Kevin Chasey称,2019年将是设备商与IDM的强劲年份。为应对厂房空间紧张,TEL推出整体设备效率(OEE)升级方案,并开发新一代工具平台,确保客户在未来十年内拥有现代化且可持续支持的设备体系。
检测设备需求趋同化
KLA-Tencor市场高级主任Ian O’Leary表示,200毫米产能需求预计将持续至2021年后,部分应用或将逐步向300毫米迁移,但汽车芯片因成本与风险控制,转移速度较慢。
汽车领域要求“零缺陷”,制造商依赖晶圆检测工具识别潜在问题。例如在110纳米工艺中发现缺陷,需具备65纳米级别的检测能力。因此,KLA-Tencor正开发兼具300毫米技术水平的200毫米检测设备,满足高可靠性应用场景。
总体来看,200毫米晶圆制造将在较长时期内保持重要地位,大量芯片依赖成熟工艺生产。然而,供应链能否有效响应持续增长的需求,仍是产业面临的核心挑战。


