科学 · 新书 | 《射频等离子体物理基础》- 大数跨境

科学出版社

2024-06-20

导读：在过去几十年中，低温等离子体技术发展迅速，在工业、环境、生物、医学等领域中得到广泛的应用，尤其是在集成电路、太阳能电池及平板显示等制造领域中，等离子体刻蚀和薄膜沉积等材料表面处理技术起着不可代替的作用

在过去几十年中，低温等离子体技术发展迅速，在工业、环境、生物、医学等领域中得到广泛的应用，尤其是在集成电路、太阳能电池及平板显示等制造领域中，等离子体刻蚀和薄膜沉积等材料表面处理技术起着不可代替的作用。等离子体已经成为一种无处不在的元素，渗透到我们日常生活的许多方面。手机、电脑、电视机等现代化的电子产品都需半导体芯片，而约有三分之一的芯片制造工艺要涉及等离子体技术。

半导体芯片产业直接关系到一个国家的经济发展、信息安全和国防建设。带有射频等离子体工艺腔室的集成电路装备（如等离子体刻蚀机）是衡量一个国家在半导体芯片制造工艺方面具有先进核心技术的重要标志，关乎着国家的中长期重大发展战略。如果能够对射频等离子体工艺腔室中发生的物理和化学过程进行充分的认识和理解，将有助于低温等离子体技术的进一步开发和应用。（摘自《射频等离子物理基础》一书前言）

王友年宋远红张钰如编著 ///

作者简介

王友年，大连理工大学教授，博士生导师（2001年被评为教育部长江学者特聘教授）。曾任国务院学位委员会学科评议组成员，中国力学学会等离子体科学与技术专业会员会主任。主要从事射频等离子体物理、离子束与物质相互作用等方面的研究，分别负责了国家“973”计划、国家磁约束聚变专项、国家重大科技专项、国家自然科学重点基金等研究任务，在Physical Review Letters等国际著名期刊上发表论文300多篇论文，作为第一获奖人先后获得过辽宁省自然科学二等奖和教育部高等学校自然科学二等奖。先后出版了《数学物理方法》（大连理工大学出版社，2014年）和《电动力学》（科学出版社，2020年），译著《射频等离子体物理学》（科学出版社，2015年）。

宋远红，教授、博士生导师，担任大连理工大学应用物理学双一流、拔尖2.0、强基专业负责人。入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”、辽宁省“百千万人才工程”百人层次人才、大连市领军人才。目前担任国际等离子体化学学会理事会理事、中国力学学会第十一届理事会理事、中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会主任委员，以及辽宁省普通高等学校物理学专业教学指导委员会副主任委员。多年从事低气压等离子体物理、尘埃等离子体物理和等离子体与物质相互作用等机理研究和计算机模拟工作，先后主持国家自然科学基金国际合作重点和面上项目、国际热核聚变实验堆ITER专项项目、教育部新世纪优秀人才支持计划资助等多项科研项目。在Carbon、Physical Review A、Plasma Sources Science and Technology等国际权威学术期刊上发表SCI论文近百篇。

张钰如，教授、博士生导师，大连市高端人才，中国博士后基金特别资助获得者。主要从事低气压射频等离子体源的数值仿真研究，参与开发并集成出国内首款等离子体源多场耦合仿真平台MAPS，获得大连市科技进步一等奖，授权国家发明专利、软件著作权20余项。针对等离子体源中的热点问题开展研究，在国际核心期刊上发表论文60余篇，单篇最高影响因子24.319。作为项目负责人，先后主持国家自然科学基金面上项目等十余项，完成MAPS仿真平台成果转化一项。

内容简介

本书较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。全书分两大部分，其中第一部分为第 1~8章，主要介绍低温等离子体的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体模型等；第二部分为第9～14章，侧重介绍不同类型的射频放电和射频等离子体特性，如容性耦合等离子体、甚高频容性耦合等离子体中的电磁效应、柱状线圈感性耦合等离子体、平面线圈感性耦合等离子体、螺旋波等离子体和电子回旋共振微波等离子体。
本书可作为等离子体物理和相关专业高年级木科生和研究生的教学用书，也可作为从事低温等离子体科学和应用技术（如等离子刻蚀和薄膜沉积技术)研究人员的参考用书。