
氟化工产品是指含氟化学品的制造与开发,氟化工产品是一种新型的化工材料,因其产品的高附加值和高性能而被誉为“黄金”产业。氟化工产品按其分子结构和性能不同,可划分为含氟单体、有机氟化物和无机氟化物。
据测算,2016-2021年中国氟化工行业市场规模逐年上升,2021年市场规模大约为665亿元。综合来看,氟化工行业年均复合增长率为22.1%,这主要得益于下游空调制冷系统和新能源汽车行业对于氢氟酸和六氟磷酸锂的需求十分旺盛。
三氟化氮在常温下是一种无色、无味、性质相对稳定的气体,是微电子工业中的一种优良等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨等化合物,具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅)。它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,对生产设备腔体的清洗起着良好的作用,在IC(集成电路)行业、LCD(面板显示)行业等合计应用占比约为70%。
无机氟化工行业被称为“黄金”产业,在国民经济和社会发展中起着重要作用,技术资本密集,产业相关性高,对相关产业升级起着决定性作用。无机氟化物分为如下大类:含氟电子化学品、铝用氟化盐、特种氟化物气体(如:三氟化氮)等。
据统计,2015年我国三氟化氮产量在2887.3吨左右,2021年产量增长至15317.1吨,2015-2021年实现年均复合增速32.06%。
国内三氟化氮产业发展迅速,2015年我国三氟化氮进口901.7吨,出口203.6吨,产品供不应求;2019年我国三氟化氮产品出口数量首次超过进口,到2021年出口量达到1999吨。
根据数据汇总,2021年我国三氟化氮产量15317.1吨,进口1022.4吨,出口1999吨,测算2021年我国三氟化氮行业需求量达到14340.5吨。
三氟化氮作为微电子工业中优良的等离子体蚀刻气体,可裂解成活性氟离子,对硅和钨化合物具有优异的蚀刻速率和选择性。在蚀刻表面上,它可以不留下任何残留物,是一种非常好的清洗剂,能对生产设备腔体的清洗起到很好的作用,在芯片制造、高能激光领域已经获得大量使用。
三氟化氮是电子特气中用量最大的品种,目前对三氟化氮需求拉动最大的是半导体产业和面板产业。半导体产业方面,中国半导体行业协会数据显示,2021年中国集成电路产业销售额为10458.3亿元,同比增长18.2%,且全球集成电路制造正持续向中国大陆转移。面板产业方面,中国大陆已成为全球最大的面板生产地。三氟化氮,作为面板和半导体生产加工过程中的特种气体,具有广阔的市场空间。随着高世代面板生产线的生产和半导体生产工艺的改进,需要更多的光罩层数和清洗频率,三氟化氮需求的增长率将高于面板和晶圆产能的增长速度。
(1)集成电路市场集成电路已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。近年来,在有利的政策环境及5G、智能网联汽车、人工智能等巨大的新兴应用需求驱动下,我国集成电路行业发展迅速,并且已成为全球集成电路市场增长的主要驱动力,生产规模及销售额持续扩大,对三氟化氮行业需求保持上升趋势。
根据数据显示,2021年我国集成电路行业产量达3594.3亿块,同比增长33.3%,截至2022年1-10月累计产量达到2674.9亿块,同比下降12.3%,其主要原因是欧美对中国贸易进行限制及疫情影响;2021年国内集成电路产业销售额为10458.3亿元,同比增长18.2%,预计2022年销售额将达11386亿元。
数据来源:国家统计局
近年来,我国显示面板产业快速发展,产业规模位居全球第一,营收规模也屡创新高,这也将对三氟化氮行业需求量不断上升。根据中国光学光电子行业协会数据显示,2021年,我国显示行业产值约5868亿元,较10年前增长近8倍;显示面板出货面积约1.6亿平方米,较10年前增长7倍以上;产业规模与显示面板出货面积在全球市场的占比分别提升到36.9%和63.3%,成为全球第一。同时,国内部分LCD(液晶显示器)生产厂商已突破技术壁垒,并且在技术、产品、市场份额等方面形成领先竞争力,全球市占率超过70%;部分OLED(有机发光二极管)生产厂商已掌握核心技术,生产规模快速扩大,尤其是中小型OLED在全球市场市占率超过30%。
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