行业发展
我国电子特气行业起步于20世纪70年代，经过近30年的发展，已经形成了包括气体生产与经营企业在内的完整产业链和较为完善的市场体系，并在全球范围内建立了广泛的客户群。
在政策的大力支持和市场需求的不断扩大下，我国电子特气产业已经形成了一定规模，国内企业已具备从产品研发、生产、销售到服务的完整产业链。
晶圆半导体
特气的生产涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺，同时客户对气体的纯度、精度等方面有复杂要求，由此形成较高技术壁垒。
国内企业在多个环节实现突破：国内企业在气体纯化环节能将部分电子特气实现9N级别的纯度，在气体混配环节可使配气误差达到±2%以内，在气瓶处理环节可使粗糙度达到0.2μm以下，在气体分析检测环节对多种气体的检测精度可达0.1ppb。
电子特气在集成电路制造环节应用超50种，品类需求较为多样：据不完全统计，现有单元特种气体达260余种，客户在生产过程中存在多样化需求，例如集成电路制造需经过硅片制造、氧化、光刻等环节，需使用纯气超过50种，混合气体种类更多。
下游需求的电子特气产品种类虽多，但单一产品用量较小：以某集成电路制造为例，生产环节需30余种电子特气，以存储电路为例，每平方米存储电路所用气体中，用量从0.5克至7220克不等，在200克以下的占86%。
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