近日，中科富海旗下子公司中科富氦（中山）气体开发有限公司（以下简称“中科富氦”）气体纯化装置成功投产，产出纯度超过6N的超纯氪气、氙气产品。
氪气、氙气在空气中的含量极少，加之其分离提取工艺要求较高等原因，称为“黄金气体”。6N级超纯氪气、氙气在国内并不多见，其生产技术曾一度被国外企业垄断。中科富氦采用先进的精馏结合纯化工艺流程和设备配置；其主要通过进料排、精馏塔、纯化器三套主要设备协同工作，使原料得以高效提纯。此外，装置还配备了膜压机和真空泵等辅助设备，确保生产过程的稳定性和高效性。最终实现将氪氙原料气体从5N纯度精馏提纯至6N纯度甚至更高。
该套装置设计产能为氪气6000Nm³/a和氙气600Nm³/a，可充分满足台积电等高端客户需求。未来，中科富氦将持续深耕低温精馏和纯化工艺，瞄准7N纯度标准不断前进，持续提升产品品质和生产效率，以满足日益增长的半导体行业需求。
精馏塔
膜压机系统
