中科富海氖氦精制装置成功运抵中国台湾
中科富海 
近日,北京中科富海低温科技有限公司(以下简称“中科富海”)氖氦精制装置成功运抵中国台湾,将为台湾首座电子级稀有气体工厂的建设提供有力支持,具有里程碑意义。
中科富海氖氦精制装置
氖气和氦气是半导体制造过程中不可或缺的关键材料,特别是在晶片制造过程中,高纯度的氖气是确保芯片质量和性能的关键因素之一。中科富海提供的氖氦精制装置设计产能为氖气产量86000Nm³/a和氦气产量35000Nm³/a,装置采用低温制冷技术和高效精馏工艺,产品纯度达到99.9995%以上,提取率超过90%。随着该装置的顺利抵达,台湾用户将立即启动安装调试工作。投产后,高纯氖氦气体可充分满足半导体等高端客户需求,将有助于提升台湾地区电子级氖气的自给能力,减少对外部市场的依赖,为半导体产业链的稳定供应提供有力保障。
在全球半导体产业快速发展的背景下,稀有气体等关键材料的需求急剧增加。台湾作为半导体产业的重要基地,其特殊气体主要依赖进口,自给率较低,建立本土供应链成为当务之急。中科富海与台湾公司将持续开展深度合作,为其提供稀有气体精制工厂的设计和实施全套解决方案,有效降低半导体产业链供应链中断的风险。
作为发展绿色能源践行者,中科富海以开发自主知识产权的低温关键技术与成套低温装备为基础,积极开拓绿色氢能与气体应用领域,在全国布局建设高纯电子特种气体,解决电子特气国产化替代中的“卡脖子”问题,成功开发并投产的电子气体工厂,已产出高纯氢和氦氖氪氙产品纯度99.9995%,可满足我国新能源、航天、医学、电子、半导体、暗物质探测等高端应用领域的迅猛发展需求。未来,中科富海将继续积极在全球布局,展开更多业务合作,为开拓海外市场奠定基础。

氖氦精制装置发运
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